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21.
子孔径拼接干涉检测大口径平面波前   总被引:3,自引:1,他引:2  
介绍了子孔径拼接检测平面波前的基本原理,提出了基于均化误差和最小二乘法的多个子孔径同时拼接的数据处理方法,有效减小了误差传递和积累.用该方法对Zemax仿真的望远镜光学系统进行了子孔径拼接检测,拼接光学系统波前和直接用Zemax得到的全孔径波前对比,其峰谷值(PV)和均方根(RMS)的偏差分别为0.015 1λ和0.0016λ.并用口径为100 mm的小口径干涉仪对口径为200 mm的平面镜进行了拼接实验,将其全孔径波前与直接检测的结果对比,其峰谷值(PV)和均方根(RMS)的偏差分别为0.055 9λ和0.0004λ.实验结果表明了该算法的有效性,该方法不仅适用于检测光学元件,也适用于对光学系统平面波前检测.  相似文献   
22.
针对目前光电自准直仪难以做到既有高分辨力同时又有大的测量范围的不足,提出一种成像式光栅自准直测角方法。该方法将成像式光栅方法、自准直测角技术相结合,利用标尺光栅像和指示光栅形成的光栅副反映被测物体的角度变化。试验结果表明,该系统接收到的光栅信号稳定,满足光栅计数的要求,成像式光栅自准直测角方法原理可行。该方法避免了光栅副间隙带来的误差,具有大量程及较高的分辨力。  相似文献   
23.
三点法检测环形平面的平面度误差   总被引:1,自引:0,他引:1  
基于三点法测量直线度误差原理(三点法误差分离技术),提出了一种新的针对大型环形工件平面度的检测方案.不同于传统的三点法测量直线导轨,该方案以封闭的圆环作为测量对象,测量结果为平面度误差而非直线度误差.叙述了三点法测量原理,以及三点法在大型环形平面的平面度检测中的应用.讨论了调零误差对测量结果的影响.提出一种有效的消除调零误差的数据处理算法,最后对该方法进行了仿真验证和实验.实验结果表明,该方法可以很好地消除调零误差,分离出被测工件的形状误差信号.  相似文献   
24.
高分辨力光电轴角编码器分辨力和精度的检测   总被引:5,自引:0,他引:5  
采用微动螺杆、斜面、正弦杠杆等四级缩小原理、产生标准的微量角,测量高分辨力光电轴角编码器的分辨力和细分误差,并用直接比较法测定编码器的测角精度和进行数据处理。  相似文献   
25.
论述一种新型数显光电测微仪 ,它的核心器件是位置敏感器件 PSD(PositionSensitive Detector) ,此测微仪具有原理新颖、结构和信号处理电路简单、示值稳定性好且成本低廉等特点。  相似文献   
26.
排列互比法用于测角时测量结果及测量误差的计算   总被引:1,自引:0,他引:1  
论述了排列互比法与排列常角法的三个主要区别,指出各测回残差及第一点归零后产生的问题,推导出了排列互比法的正确的测量结果及测量误差的计算公式。  相似文献   
27.
本文分析了用双频激光干涉仪对仪器(机床)进行位置精度检测时,干涉仪固定棱镜(参考棱镜)及活动棱镜的安装合理与否对测量结果的影响。  相似文献   
28.
超广角光学镜头畸变的约束最小二乘优化   总被引:2,自引:1,他引:2  
在普通最小二乘算法的基础上,根据短焦距、超广角光学镜头的实际特性,在线性回归方程组中添加约束条件,并借助 MATLAB Optimization 工具箱求得拟合的结果。计算结果表明, 该方法减小了测量误差对计算结果的影响,改善了畸变随视场的分布,使计算结果更加合理。  相似文献   
29.
基于旋转法的干涉仪系统误差标定   总被引:3,自引:0,他引:3  
针对干涉仪高精度检测的需求,本文提出了旋转法标定干涉仪系统误差,实现绝对检测,从而提高检测精度.该方法根据Zemike多项式的性质,可以通过N次平分旋转和一次旋转法两种方法实现.本文对这两种方法分别做了详细的理论推导,并且给出具体实验结果与误差分析.实验结果表明,两种方法的测量结果基本一致,差值的PV值为0.006λ,...  相似文献   
30.
几何量测量技术进展   总被引:3,自引:1,他引:2       下载免费PDF全文
为将排列互比法用于超精测角研究、大型机械零部件形位误差在位测量技术研究及非球面主镜面形误差测量技术研究等几何量测量课题,在理论分析及实验验证的基础上推导出了排列互比法理论公式及系统误差产生的原因,在优化组合传统检验方法的基础上提出了大型机械零部件形位误差测量方案,并解决了Φ4.5 mx5 m高精度机架测量难题,采用拼接技术、哈特曼技术及补偿技术等解决了Φ1.8 m大口径非球面主镜面形误差测量难题.  相似文献   
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