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子孔径拼接干涉检测大口径平面波前 总被引:3,自引:1,他引:2
介绍了子孔径拼接检测平面波前的基本原理,提出了基于均化误差和最小二乘法的多个子孔径同时拼接的数据处理方法,有效减小了误差传递和积累.用该方法对Zemax仿真的望远镜光学系统进行了子孔径拼接检测,拼接光学系统波前和直接用Zemax得到的全孔径波前对比,其峰谷值(PV)和均方根(RMS)的偏差分别为0.015 1λ和0.0016λ.并用口径为100 mm的小口径干涉仪对口径为200 mm的平面镜进行了拼接实验,将其全孔径波前与直接检测的结果对比,其峰谷值(PV)和均方根(RMS)的偏差分别为0.055 9λ和0.0004λ.实验结果表明了该算法的有效性,该方法不仅适用于检测光学元件,也适用于对光学系统平面波前检测. 相似文献
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高分辨力光电轴角编码器分辨力和精度的检测 总被引:5,自引:0,他引:5
采用微动螺杆、斜面、正弦杠杆等四级缩小原理、产生标准的微量角,测量高分辨力光电轴角编码器的分辨力和细分误差,并用直接比较法测定编码器的测角精度和进行数据处理。 相似文献
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