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为了满足微电子制造技术中不断提高的刻线边缘粗糙度测量与控制精度的要求,对使用原子力显微镜(AFM)测量刻线边缘粗糙度的影响因素进行了研究.基于图像处理技术从单晶硅刻线样本的AFM测量图像中提取出线边缘粗糙度,并确定出其量化表征的参数.然后,根据线边缘粗糙度测量与表征的特点,对各种影响因素,包括探针针尖尺寸与形状的非理想性、AFM扫描图像的噪声、扫描采样问隔、压电晶体驱动精度、悬臂梁振动以及线边缘检测算法中的自由参数等进行了理论和实验分析,并分别提出了抑制及修正的方法.研究表明,在分析各种可能导致测量误差的影响因素的基础上,消除或减小其影响,可以提高刻线边缘粗糙度测量的准确度,为实现纳米尺度刻线形貌测量的精度要求提供理论与方法上的支持. 相似文献
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大理市绿玉公园地下商场是“七·五”期间我省人防工程建设的重点工程项目之一。本文从建筑布局、功能转换、结构布置、装修特点四个方面分析了它的设计特点,并且简述了施工的主要技术措施和管理经验。通过对该工程设计与施工的浅析,展示了我省的人防工程建设已进入了一个崭新的阶段。 相似文献
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介绍了一种用于铜膜化学机械抛光的多元胺醇型非离子表面活性剂。研究了该表面活性剂对抛光液表面张力、黏度、粒径、抛光速率和抛光后铜的表面状态的影响。抛光液的基本组成和工艺条件为:SiO2 0.5%,H2O2 0.5%,FA/OII型螯合剂5%(以上均为体积分数),工作压力2 psi,抛头转速60 r/min,抛盘转速65 r/min,抛光液流量150 mL/min,抛光时间3 min,抛光温度21°C。结果表明,微量表面活性剂的加入能显著降低抛光液的表面张力并大幅提高抛光液的稳定性,但对静置24 h后抛光液黏度的影响不大。表面活性剂含量为0%~2%时,随其含量增大,化学机械抛光速率减小,抛光面的粗糙度降低。 相似文献
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根据调压箱下游用户的天然气消耗历史数据,通过黑箱建模方式,分析并建立下游用户用气规律模型,并以此为基础计算出以天为周期的优化调压控制策略,以保证下游管网压力平稳和下游用户用气质量。 相似文献
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以同三线栖莱高速公路六合同投入运营后沥青混凝土路面出现的水破坏情况为例,分析论述水破坏形成的原因,并就如何防止沥青路面受水破坏问题,从多个方面提出防治措施。 相似文献