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为了满足微电子制造技术中不断提高的刻线边缘粗糙度测量与控制精度的要求,对使用原子力显微镜(AFM)测量刻线边缘粗糙度的影响因素进行了研究.基于图像处理技术从单晶硅刻线样本的AFM测量图像中提取出线边缘粗糙度,并确定出其量化表征的参数.然后,根据线边缘粗糙度测量与表征的特点,对各种影响因素,包括探针针尖尺寸与形状的非理想性、AFM扫描图像的噪声、扫描采样问隔、压电晶体驱动精度、悬臂梁振动以及线边缘检测算法中的自由参数等进行了理论和实验分析,并分别提出了抑制及修正的方法.研究表明,在分析各种可能导致测量误差的影响因素的基础上,消除或减小其影响,可以提高刻线边缘粗糙度测量的准确度,为实现纳米尺度刻线形貌测量的精度要求提供理论与方法上的支持. 相似文献
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根据调压箱下游用户的天然气消耗历史数据,通过黑箱建模方式,分析并建立下游用户用气规律模型,并以此为基础计算出以天为周期的优化调压控制策略,以保证下游管网压力平稳和下游用户用气质量。 相似文献
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以同三线栖莱高速公路六合同投入运营后沥青混凝土路面出现的水破坏情况为例,分析论述水破坏形成的原因,并就如何防止沥青路面受水破坏问题,从多个方面提出防治措施。 相似文献
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1概述对于一个企业特别是石油化工企业而言,供电系统的可靠性是至关重要的,它直接关系着企业的生产安全。电力控制系统是供电系统和电力设备可靠、高效运行的保证,必须具备安全可靠的控制电源。直流电源独立于交图1直流由图中可以看到,直流电源系统一般由交流部分、整流部分、蓄电池组、监控装置及直流馈出单元等五部分组成。其主要原理就是正常供电时,交流电源经整流模块为电力系统二次控制保护回路提供直流操作和控制电源,并为蓄电池组提供充电电源或浮充电源。该电源与蓄电池组电源流动力电源系统之外,不受交流电源系统事故的影响,具有安… 相似文献