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大分子螯合剂在低压力低磨料条件下铜膜的化学机械抛光中的应用 总被引:4,自引:4,他引:0
The mechanism of the FA/O chelating agent in the process of chemical mechanical polishing (CMP) is introduced. CMP is carried on a φ300 mm copper film. The higher polishing rate and lower surface roughness are acquired due to the action of an FA/O chelating agent with an extremely strong chelating ability under the condition of low pressure and low abrasive concentration during the CMP process. According to the results of several kinds of additive interaction curves when the pressure is 13.78 kPa, flow rate is 150 mL/min, and the rotating speed is 55/60 rpm, it can be demonstrated that the FA/O chelating agent plays important role during the CMP process. 相似文献
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<正> 一、污水汽提技术的发展概况六十年代初,国外就开始了含硫污水汽提技术的研究,相继发表了不少文献和专利。美国Chevron公司发明的双塔汽提处理含硫、含氨污水的WWT法于1966年开始工业化(如图1),经处理后的净化水含氨小于50ppm,含硫约5ppm,为含硫污水高度净化开辟了新的工艺路线。海湾研究公司开发了双塔汽提浓氯节流澎胀法(如图2)。Chevron公司的WWT法与海湾公司 相似文献
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本文在对传统的道岔拉杆成形工艺进行了分析的基础上,提出了镦挤成形工艺,并对新工艺折主要工艺参数进行了理论分析和实验研究,同时设计了一套生产性实用模具,并且进行了试生产。 相似文献
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给出了一种边缘粗糙度(LER)三维参数评估的方法。采用原子力显微镜(AFM)测量了刻线单侧边缘形貌,根据AFM的工作机理和测量特点重构边缘表面,采用回归分析方法确定了边缘表面的评价基准面。结合集成电路中光刻工艺的具体需求,提出了能够反映边缘表面形貌特征的三维LER表征参数。结合实例,计算了所提出的部分LER参数,分析了LER标准差参数的测量精度。 相似文献
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随着近年来新疆地区棉花种植面积的不断增加,拾花劳动力紧缺的问题也更加突出,大力发展机采棉就成为了棉花产业发展的迫切需求。 相似文献