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主要研究了65 nm碱性铜布线的平坦化工艺。对不同尺寸铜线条进行抛光,讨论了抛光压力、抛光液流量和转速对平坦化的影响。结果表明,压力是影响平坦化的主要因素;分别改变压力、流量或转速时,窄线条的平坦化效果优于宽线条;平坦化效果随着压力的减小逐渐变好,即压力为1.0 psi(1 psi=6.895 kPa)时,平坦化效果最好;抛光液流量在300 mL/min时,化学反应和机械作用都达到饱和,平坦化效果最佳;平坦化效果随着转速的提高逐渐变好,转速在100 r/min时,保证了质量传递效率,所有铜线条都达到了最好的平坦化。 相似文献
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113.
114.
115.
化学团聚是控制燃煤电厂细微颗粒排放最有效的方法之一。颗粒物被团聚剂润湿是化学团聚的首要步骤。以小龙潭电厂燃煤飞灰为对象,采用激光粒度仪研究了燃煤飞灰在十二烷基硫酸钠(SDS)、十二烷基苯磺酸钠(SDBS)和Triton X 100(TX100)三种润湿剂溶液中的润湿性能,考察了润湿剂浓度、温度对燃煤飞灰润湿性能的影响。结果表明:水仅能将飞灰颗粒中的PM10+部分全部润湿,0.25%的SDS溶液中PM2.5+可全部润湿,1%的SDS及0.4%的SDBS溶液中PM1+可全部润湿;TX100溶液在低浓度条件下具有较强的润湿飞灰颗粒的能力,且0.1%的TX100溶液对细微颗粒的润湿性能较好;温度从20℃上升到60℃,润湿剂溶液表面张力降低,飞灰的润湿性能增强。鉴于飞灰在三种润湿剂中良好的润湿性能,三种润湿剂均可作为团聚剂组分以促进燃煤飞灰中的细微颗粒润湿进而被团聚成为容易脱除的大颗粒。 相似文献
116.
通过熵权的客观权重与主观权重相结合,建立了软土地基综合性能评价的多级多目标模糊优选模型,并对陕蒙高速公路软土地基的选型进行了实例分析.主客观综合权重与基于决策者经验、知识的多级模糊优选模型相结合,更能科学、客观、合理的反映各指标之间的相互关系,使得评价结果具有一定的科学性和客观性. 相似文献
117.
近期召开的全国农村水电工作会议.表彰了“十五”、“十一五”期间为农村水电做出突出贡献的先进集体和先进个人.省水利厅水电处、涉县水利局、承德县水务局、涞源县水务局、石家庄市小水电管理办公室5个单位荣获先进集体称号,回士光、张笑虹、徐学章、王鹏、黄万春、靳志广、范强、肖天海、陈文、申桂明、宁树信、倪国明、杨金煜、李春民、王小风、孙玉琢、麻志宝、吴宪玉、胡江、武志春、邓风川、王玉平、申土山共23人荣获先进个人称号。 相似文献
118.
高等教育研究的出现得益于世界范围内高等教育的繁荣,但是,高等教育学的学科建设和理论建构却并未在各国真正落地,这导致学科在诞生后就面临知识合法化的危机,有关高等教育学功用的质疑也越来越多。其原因并不来自研究技术与方法的孱弱,而是无法利用知识与高等教育实践建立互动关系,在高等教育实践需求和学科知识供给之间还有较大的裂痕。历史上,高等教育研究将发达国家的经验向全世界传播取得一定的成功,也为各类利益相关者提供了解释高等教育发展现象的工具。然而,高等教育学的需求困境在于学科知识难以对不同国家变化的实践活动提供有针对性的理论引导。严格说来,社会成员需要更新有关高等教育性质的认知,这是对高等教育学的需求所在。不论是知识生产还是人才培养,中国高等教育学都应该直面实践,从关注专业经验走向关注专业知识,立足高等教育发展的本土问题,提炼中国高等教育改革的本土经验和本土理论,重塑朝向未来的学科建设模式。 相似文献
119.
从系统架构的视角,对内蒙古烟草局在不同数字化改造和信息化建设阶段中,存储架构的演进历程和建设思路进行了系统总结和深入研究,解读了早期普遍应用的烟囱式存储"云"架构的发展演变过程,分析了当今大规模部署的集中式云存储架构的应用现状,并对分布式云存储架构的发展趋势进行了分析,提出了建设应用思路.从体系统体系架构、数据库应用部... 相似文献
120.
黑果腺肋花楸是目前含有花青素、多酚含量最高的植物,其活性物质具有多种保健功能。然而,其中的花色苷稳定性差,利用率低,在各行业的应用受到限制。本研究采用壳聚糖与聚谷氨酸经离子凝胶法对黑果腺肋花楸花色苷进行包埋,来提高其稳定性。通过单因素实验确定3个影响显著的因素。以花色苷纳米微胶囊包埋率为指标,响应面优化后的最佳条件为:花色苷添加量36 mg、壳聚糖质量浓度1.3 mg/mL、搅拌时间60 min、壳聚糖∶聚谷氨酸质量比2∶1、pH 4.5。在此条件下所得纳米微胶囊包埋率为59.54%,粒径317.5 nm,Zeta电位36.7 mV。通过扫描电镜观察,黑果腺肋花楸花色苷纳米微胶囊外表光滑,呈规则的球状,表明其具有良好的结构和稳定性,有利于其在食品工业中的应用。 相似文献