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研究了用于检测挥发性有机化合物(VOC)蒸汽的声表面波传感器阵列.阵列结构应紧凑布局,以缩短响应时间.开环检测声表面波振荡环路S21参数,以降低设计难度.使用参考环路以精确读取传感器的输出信号.使用气喷工艺制备敏感膜以改善成膜质量.该传感器阵列对VOC蒸汽具有较高的灵敏度和较强的分辨能力. 相似文献
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磁控溅射镱薄膜的制备及压阻特性 总被引:3,自引:0,他引:3
使用直流磁控溅射的方法在聚酰亚胺上制备镱薄膜,XRD分析薄膜的晶体结构,SEM表征薄膜的形貌,利用一级轻气炮进行了1.5 GPa~2.5 GPa的冲击加载压阻测试.研究结果表明,压阻系数依赖于薄膜的晶粒尺寸,经300℃热处理1 h,镱薄膜晶粒长大,薄膜结构更为致密,膜内缺陷减少,压阻系数有明显提高. 相似文献
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以苯酚、溴丙烯、无水碳酸钾为起始原料通过O-烷化、Claisen重排制得邻烯丙基苯酚,使其和含氢硅油通过硅氢加成制得有机磷敏感材料聚甲基[3-(2-羟基)苯基]丙基硅氧烷(PMPS).将PMPS涂覆在石英晶体微天平(QCM)上,研究了其对神经性毒剂模拟剂甲基膦酸二甲酯(DMMP)和其它干扰气体的响应特性.结果表明在(5~70)×10-6范围内,传感器对DMMP的响应呈线性关系,灵敏度为12.4×106Hz.当测试蒸汽为饱和浓度时,传感器对DMMP的响应比其它干扰气体高6倍以上,表现出良好的选择性. 相似文献