用诺谟图计算多级压气机气体出口温度

预知多级压气机气体出口温度常常是很有用的。对于各级都是绝热压缩、级间作功相等、气体中间冷却后又返回到进口温度的压气机,常用下列公式来计算其出口气体温度: T_2=T_1(x+1)~(1/N)式中:T_2—气体出口绝对温度,开氏温标     

防止转子不平衡的可倾斜瓦轴承

转子不平衡量高于限定的临界值时,汽轮发电机组的分谐波共振就会引起灾难性的振动,采用可倾斜瓦轴承能防止这种振动.     

基于PMAC的数控系统PID参数自适应调节

研究了数控加工系统中的位置控制模型,在此基础上分析了采用PID参数自适应调节的重要性,建立了基于PMAC基础上PID参数自适应调节的高性能数控系统。     

数控连续加工中提高轨迹段转接速度的方法研究

为了提高连续加工中轨迹段间的转接速度,提出“圆弧转接法”。首先分析了转接速度对轨迹转角敏感的原因,然后给出了在转角处插入圆弧的方法,推导了转接速度的计算公式,提出了该算法在数控系统中的实现流程。实验表明,在保证精度的前提下,应用该算法显著提高了转接速度。     

A~2/C氧化沟工艺升级改造工程的设计及运行

崇州污水处理厂升级改造工程要求出水水质执行《城镇污水处理厂污染物排放标准》(GB 18918—2002)中的一级A标准。经多方案比较后,确定在保留现有的A2/C卡鲁塞尔氧化沟系统的基础上,对氧化沟、储泥池进行水力改造,并增加纤维转盘过滤工艺。该改造工程具有土建投资省、施工周期短的特点,运行监测表明大幅度降低了出水SS值,并减小了出水BOD5、TP含量,出水水质优于一级A标准。     

三自由度气浮平面电机非线性运动控制研究

长行程多自由度气浮平面电机广泛应用于高精度场合,如半导体制造装备、超精密仪器等.但气浮平面电机存在系统噪声大、易受外界干扰的问题,采用高增益线性控制器可有效抑制低频干扰,但会放大系统噪声.针对上述问题,为进一步提高运动与定位精度,提出一种基于轨迹跟踪误差幅值的变增益非线性控制算法,并采用扫描函数法证明所提方法的稳定性.当误差值大于阈值时,利用较大的附加增益以消除低频误差;反之,利用小增益以避免放大高频系统噪声.轨迹跟踪实验结果表明,相对于线性控制算法,非线性控制算法作用下跟踪误差小于1μm,有效提升了系统的轨迹跟踪与定位性能,在增强系统抑制低频干扰能力的同时降低了对噪声的敏感性.     

扫描干涉光刻机的超精密移相锁定系统

扫描干涉光刻机移相锁定是实现大面积高精度全息光栅曝光拼接的关键之一。为了实现大面积高精度全息光栅高精度曝光拼接,针对扫描干涉光刻机步进扫描拼接轨迹,重点开展了移相锁定系统的研究。在零差移频式相位锁定分系统和外差利特罗式光栅位移测量干涉仪的基础上,阐述了扫描干涉光刻机的新型移相锁定系统原理。针对新型的移相锁定系统原理,构建了移相锁定控制系统实验装置。最后,基于移相锁定控制实验装置,针对移相锁定定位性能,开展了移相锁定定位控制实验以及影响控制精度的因素分析,实现了±3.27nm (3σ,Λ=251nm)的定位控制精度;针对移相跟踪控制性能,在移相跟踪控制精度实验分析的基础上,利用陷阱滤波PID控制实现了±4.17nm(3σ,Λ=251nm)的跟踪控制精度。     

基于CFD的水泵工作时水中流场的模拟

取水工程是给水工程中的一种。饮水问题长期以来都是人们普遍关注的问题。取水泵则是取水工程中的主要使用流体机械。现在市场上所售的取水泵品牌和种类都很多,但是取水泵工作时取水的效率和所取水的水质问题都有必要进一步研究。本文主要介绍了基于CFD软件的取水泵工作时的水中流场分布和水力特性的分析,以便作为以后提出各种优化取水水质的方案的研究基础,同时也为正在学习CFD的学生提供了一个以供学习参考的实例模型。     

超精密外差利特罗式光栅干涉仪位移测量系统

开展了扫描干涉光刻机工作台超精密位移测量的实验研究,以提高扫描干涉光刻机的环境鲁棒性。针对扫描干涉光刻机工作台位移测量精度,提出了新型高环境鲁棒性外差利特罗式光栅干涉仪测量系统。介绍了系统测量原理,设计了测量系统,提出了基于Elden公式的系统死程误差建模方法。设计制造了尺寸仅为48mm×48mm×18mm的光栅干涉仪。基于误差模型计算了死程误差,计算结果表明:对于1.52mm死程的光栅干涉仪,宽松的环境波动指标(温度波动为0.01℃、压力梯度为±7.5Pa、相对湿度波动为1.5%、CO2含量波动为±50×10-6)仅引起±0.05nm的死程误差。最后,设计了基于商用双频激光平面镜干涉仪的测量比对系统,开展了光栅干涉仪原理验证实验和测并量稳定性实验。原理验证实验表明:光栅干涉仪原理正确且系统分辨率达0.41nm。测量稳定性实验表明:常规实验室环境下,环境波动引起的死程误差为7.59nm(3σ)@0.9Hz1~10Hz,优于同等环境条件下平面镜干涉仪的31.11nm(3σ)@0.9Hz1~10Hz。实验结果显示系统具有很高的环境鲁棒性。     

基于前馈辨识与非线性复合反馈的平面电动机运动控制

控制器包括前馈项与反馈补偿,前馈用以减小加、减速段跟踪误差,反馈项用以提高系统鲁棒性并确保匀速段误差的收敛。然而实际中存在建模误差,基于名义模型计算得到的前馈系数不够准确。此外不确定项使得多自由度之间存在耦合,且无法确保跟踪误差的收敛。以平面电动机为研究对象,为提高其运动与定位精度,提出一基于前馈辨识与反馈非线性复合控制方法,并利用Lyapunov理论证明该算法的稳定性。其中前馈系数通过PD控制试验求解。反馈控制器中鲁棒项用以补偿建模误差以减小多自由度耦合并提高鲁棒性,非线性项采用基于误差幅值的变增益方法,用以抑制低频扰动并避免噪声的引入。试验结果表明,该方法明显减小轨迹跟踪误差,提高系统鲁棒性与伺服性。