用光腔衰荡法测量高反射率的重复性测试

根据光腔衰荡光谱技术开展了测量镜片高反射率的研究,建立了测量实验装置,理论上给出了反射率测量的计算方法,在实验中测定了一对反射率相等的高反射腔镜的反射率,以及一块22.5°反射镜样品的反射率,所得反射率的标准偏差好于10-5。该仪器具有较高的实验重复性。     

电子束反应蒸发氧化物薄膜的应力特性

研究了反应电子束蒸发氧化物光学薄膜在空气中的应力。为了找到能减小多层膜结构内应力的淀积工艺参数,测试了氧化物膜层TiO2,Ta2O5,SiO2,Al2O3,HfO2的应力,发现有些膜层为压应力,一些高折射率膜为张应力。实验表明,热处理可以有效地降低氧化物膜层光学吸收,并改变应力。     

椭球反射镜膜厚均匀性与工艺技术的探讨

讨论了深紫外曝光系统中椭球反射镜镀制装置在薄膜沉积中的镀制条件对膜厚和膜厚均匀性的影响,计算了椭球镜的膜厚均匀性并对如何改善椭球镜膜厚分布作了介绍,实验得到均匀性符合要求的反射镜。     

大光斑连续波DF激光对反射镜的损伤

大光斑连续波ＤＦ激光对反射镜的损伤熊胜明，张云洞（中国科学院光电技术研究所，成都６１０２０９）连续波激光对光学元件的损伤是高功率化学激光运行所遇到的主要问题。虽然反射镜损伤现象与脉冲激光极其相似，但它们损伤机理是完全不同的。本文中测试了几种镇有介质反...     

离子束溅射氧化物薄膜的中红外特性

以离子束溅射沉积(IBSD)方法制备了Al2O3、Nb2O5单层膜,用红外可变角度光谱椭圆偏振仪(IR-VASE)测试了薄膜的光学常数。用原子力显微镜(AFM)测量了单层膜的表面形貌及表面粗糙度,计算了单个表面的总积分散射(TIS)。以Nb2O5和Al2O3为高低折射率材料设计并制备了2.7μm高反射膜。最后对单层膜进行了环境实验检测。结果表明,制备的薄膜在中红外波段具有高的折射率和低的消光系数,光滑的表面特性和极低的表面散射损耗;在2.7μm波段没有发现由于水吸收导致的消光系数的增大;制备的反射膜在2.7μm反射率达到了99.63%,接近于理论计算值。薄膜顺利通过了一系列环境实验,显示其优良的环境稳定性。     

3.6m大口径镀膜机膜厚均匀性分析

分别建立了旋转平面与球面夹具配置下的薄膜膜厚均匀性理论计算模型,对3.6 m大口径镀膜机下直径为2.6 m基板的膜厚均匀性进行了研究.为了改善膜厚均匀性,分别采用两个蒸发源和三个蒸发源进行蒸镀.薄膜的膜厚不均匀性通过理论计算模型进行优化计算得到.对于两个蒸发源,分别得到了两旋转夹具配置下的最优几何配置,对应的膜厚不均匀...     

多孔细旦PET FDY环吹风冷却改造及生产工艺探讨

根据本厂的设备状况,提出环吹风改造的方法。试验利用环吹风设备生产PET FDY多孔细旦138dtex/192f规格产品,讨论了环吹风设备开发细旦丝的工艺条件。通过工艺试验认为利用环吹风技术生产FDY多孔细旦丝是可行的,与常规设备生产常规品种相比,工艺条件需要做适当调整。     

激光量热法测量光学薄膜微弱吸收

按照国际标准ISO 11551研制了用于测量光学薄膜微弱吸收的激光量热装置。典型情况下吸收测量灵敏度优于10-6,测量误差估计为10%左右。在1064 nm波长测量1 mm厚石英玻璃基板的绝对吸收为3.4×10-6,测量灵敏度达到1.5×10-7。测量了不同膜层设计、不同使用角度、不同镀膜技术镀制的全介质高反膜样品;使用离子束溅射(IBS)技术镀制的Ta2O5/SiO2多层0°反射镜的吸收仅为1.08×10-5,而使用离子束辅助沉积(IAD)技术镀制的HfO2/SiO2多层45°反射镜的吸收测量值为6.83×10-5。     

寿命长输出特性好的连续CO2调频激光器

我们研制了一台用光栅选支、压电驱动改变腔长的连续CO2调频激光器。全外腔放电管的Brewster窗和耦合输出镜均选用高光学质量的ZnSe光学元件。测量到了84条激光谱线,最强单线功率达13W,优于目前国内报导的同类器件水平。调谐宽度119MHz,与理论估算非常接近,连续使用一年多后输出仍然很好。     

基于光腔衰荡的反射率测量技术的研究

根据光腔衰荡原理开展了高反射率镜片反射率测量技术的研究。理论上给出了直型腔和折叠腔的反射率计算方法,构建了测量高反镜反射率的实验系统。实验结果表明系统结构简单,易调节,可以测量任意角度的反射率,测量结果精确,可满足高反镜片的各种测量要求。