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极紫外宽带Mo/Si非周期多层膜偏振光学元件 总被引:2,自引:1,他引:2
研究了极紫外宽带多层膜偏振光学元件,包括反射式检偏器与透射式相移片。基于Mo/Si非周期多层膜结构,采用解析与数值优化相结合的方法进行了多层膜的设计;采用磁控溅射技术制备了多层膜。利用X射线衍射仪对非周期多层膜的结构进行了表征,利用德国BESSY-II同步辐射实验室的偏振测量仪对多层膜的偏振特性进行了测试。测量结果表明,在13~19 nm波段,s偏振分量的反射率高于15%;在15~17 nm波段,获得了37%的反射率。宽带多层膜同样可作为宽角偏振光学元件,在13.8~15.5 nm波段,宽带透射相移片的平均相移为41.7°。采用所研制的宽带多层膜相移片与检偏器,建立了宽带偏振分析系统,并对BESSY-II的UE56/1 PGM1光束线的偏振特性进行了系统研究。这种宽带多层膜偏振光学元件可以极大地简化极紫外偏振测量。 相似文献
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长距离流体输送管道泄漏检测与定位技术的现状与展望 总被引:19,自引:4,他引:19
介绍基于软件的泄漏检测和定位方法的发展现状,即基于模型的方法、基于信号处理的方法和基于知识的处理方法等,对上述方法存在的优缺点进行了评述,并对泄漏检测和定位方法的未来发展方向提出了作者的看法。 相似文献
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介绍了三种获得窄带多通道滤光片的方法。第一种方法是具有缺陷的多异质结结构,该结构能够展宽光子晶体的禁带同时实现多通道效应。第二种方法是多通道导模共振布儒斯特滤光片,此类滤光片可以采用单层膜结构来实现多通道效应,也可以采用具有相等折射率的双层膜结构来实现多通道效应。第三种方法是组合刻蚀法制备窄带滤光片列阵。该方法不仅可以制作单腔窄带滤光片列阵,还可以制作双腔窄带滤光片列阵。窄带多通道滤光片在光学领域中具有一定的应用前景。 相似文献
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针对蚁群算法在机器人路径规划中对费洛蒙浓度依赖过大、容易出现复杂环境下避障碍失败及路径规划误差偏大的缺点,提出了一种基于自适应性小脑控制为核心的类免疫路径优化算法。结合自适应模糊集合以及小脑模型,借助移动机器人几何架构推导运动学模型,结合类免疫算法,运用Kinect体态传感器来判断障碍物,制定避障策略并优化路径。最后,通过圆形轨迹仿真及实验证明,文中所论证的算法在路径规划方面具有更好的运动精度。 相似文献
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介绍了软X射线Bragg Fresnel光学元件的特点 ,并以磁控溅射法制备多层膜 ,再采用光学全息方法在涂有光刻胶的多层膜表面上形成波带片图形 ,通过显影、离子束刻蚀完成元件的制作 相似文献
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18.2nm正人射显微成像系统用多层膜可极大地提高18.2nm的反射率,但它对紫外、可见和红外光也产生很高的反射。显微成像系统用的激光等离子体光源会在红外到敦X射线产生大量的辐射,18.2nm正入射显微系统用的胶片对所有光谱都十分敏感。因此,182nm正人射显微成像系统需要用滤光片滤除不需要的光辐射并对18.2nm的软X射线有较大的透射比,这样才能获得18.2nm的软X射线像。本文讨论了18.2nm正入射显微成像系统用滤光片的设计、制作及其特性。为了去除滤光片膜中的应力,用交替蒸镀Al和C多层膜的方法来制备法光片,铝和碳膜是用磁控溅射法制备的。针孔透过率和成像实验表明,所制备的滤光片满足了18.2nm正入射显微成像系统对滤光片的要求,并且为进一步制备其他薄膜滤光片打下了基础。 相似文献
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中子散射和衍射是现代科学检测技术的重要领域之一,中子谱仪是实现中子检测的核心装置。中子薄膜器件及其光学系统可以实现中子束传输、聚焦、准直、极化等状态的调制,是构成中子导管、准直器、弯管、极化器、翻转器等中子光学装置的核心器件,可以提升中子传输效率,简化中子光学仪器结构,是中子谱仪功能实现和性能提升的关键。同济大学精密光学工程技术研究所,面向我国各类中子源应用谱仪开发的需求,聚焦中子薄膜器件关键制作技术创新,解决了中子超镜和极化中子薄膜翻转元件的制作问题;以高端薄膜器件支撑了高性能中子光学系统的研制,成功研制出中子导管部件、基于超镜的多层嵌套式中子聚焦系统、高通量高空间分辨率的中子多通道KB聚焦系统,成功应用于国内大型和小型中子源的谱仪装置,支撑了我国小角散射、粉末衍射、自旋回波等中子谱仪的自主研发和升级改造。 相似文献
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