Effects of the reciprocating parameters of the carrier on material removal rate and non-uniformity in CMP

Based on the Preston equation,the mathematical model of the material removal rate(MRR),aiming at a line-orbit chemical mechanical polisher,is established.The MRR and the material removal non-uniformity(MRNU) are numerically calculated by MATLAB,and the effects of the reciprocating parameters on the MRR and the MRNU are discussed.It is shown that the smaller the inclination angle and the larger the amplitude,the higher the MRR and the lower the MRNU.The reciprocating speed of the carrier plays a minor rol...     

在用润滑油检测技术综述

润滑油作为保障机械部件正常运转的关键要素,其性能直接影响到机械部件运行的可靠性,稳定性及安全性。对在用润滑油进行监测,及时更换掉失效的润滑油是有效保障机械部件正常运转的必要条件,但实时在线检测在用润滑油的性能是当前的一大技术难题。从国内外现状及存在的问题对在用润滑油检测技术进行了综述。开发新型传感器,研究新的数据处理方法和应用高光谱技术是在线检测技术的发展方向。(图6表0参考文献18)     

如何在数学教学中培养创新精神

创新是一个国家、一个民族发展的必备条件,所以我们要培养学生的创新精神.而数学又是一门需要人类不断探索的学科,所以在数学课上要注意诱导、引发学生的创新意识,培养学生的创新精神,使学生勇于创造,提高学生的创新能力,使学生从小养成勇于创造的品质.     

抛光头摆动参数对化学机械抛光材料去除率及材料去除非均匀性的影响

摘要：除抛光头及抛光盘转速外,抛光头摆动参数（如：摆动倾角、摆动速度及摆动幅度等）也是影响材料去除率及去除非均匀性的重要运动参数。基于Preston方程建立了直线轨道式抛光机的材料去除率模型,并运用MATLAB 软件对材料去除率及材料去除非均匀性进行了数值计算,分析了摆动参数对材料去除率及材料去除非均匀性的影响。分析结果表明：小的摆动倾角和大的摆动幅度有利于提高材料去除率和降低材料去除非均匀性;而摆动速度对材料去除率及材料去除非均匀性影响不大。研究结果可以为直线轨道式抛光机的设计及工艺参数选择提供一定的理论指导。     

α-烯烃齐聚技术研究和应用进展

分析了聚α-烯烃的特点及其可应用的领域。主要是提出了近年来各国学者在α-烯烃齐聚技术方面所作的努力。最后对α-烯烃齐聚技术的发展前景进行了展望。     

含能高聚物粘结剂及其在炸药中应用的研究进展

对现有的含能高聚物粘结剂进行了分类,对其性质进行了归纳,总结了其在炸药中的应用,并指出了今后研究中应注意的问题.     

典型炸药柱的400kg落锤撞击感度特性分析

为了研究炸药在冲击作用下的安全性能,利用400 kg落锤加载装置对梯恩梯(TNT)、B炸药(Comp.B)、钝化黑索今(P-RDX)等典型炸药柱进行了撞击感度试验,将所测结果与GJB772A - 97方法测试的炸药撞击感度、抗压强度进行了相关性分析.结果表明,在试验条件下,组成相近的配方,药柱撞击感度与抗压强度、成型工...     

浅谈心理咨询在水利行业思想政治工作中的作用

随着时代发展的进步,如今心理咨询已经成为水利行业开展思想政治工作的有效补充。文章从二者之间的区别开始谈起,继而分析了二者的联系,最后论述了发挥心理咨询对提高思想政治工作科学性、实效性、针对性的作用。     

淮河流域河流污染防治技术浅析

淮河是我国主要河流之一,淮河流域为我国农业生产区,河流分布广泛,人口众多,近年由于工业废水、农业废水及生活废水的超标、超量排放,多数河流遭到严重污染,直接影响到流域人民的生产、生活水平,威胁着人民群众的生命安全,防治淮河流域河流污染势在必行。     

甲硝唑在根管治疗中的使用

1997年至1999年57例需作根管治疗的患牙,试用甲硝唑治疗不可复性牙髓炎,牙髓坏死及根尖周炎,观察临床效果,表明甲硝唑作髓腔及根管消毒与加入根管糊剂用以根管治疗是一种有效的治疗手段。 1 方法 1.1 一般资料 甲硝唑根管消毒组32例,年龄3岁～55岁。其中乳牙12例,恒牙20例。甲硝唑 根管糊剂根充组25例,年龄3岁～20岁,其中乳牙18例,年轻恒牙7例。