采用铝等离子CVD方法的多层布线技术

LSI技术的进步和发展是惊人的,现虽已进入了VLSI时代,但其发展趋势仍在持续。作为维持这种倾向的先导当然是制造工艺技术的革新。我们认为,图形的微细化、工艺的精密化等,今后将更加切实地向前发展。一方面,随着微细加工技术的进步,器件将更微细化,因而LSI芯片的大部分面积却被布线占据了。在有限的面积内,为了进一步提高集成度,提高密度,就必须采用多层布线技术。于是,多层布线技术在今后的工艺技术中将是最重要的课题。     

大型变压器绕组冷却油流阻力的计算与实验研究

介绍了H没道油流阻力系统的测定方法，在实验基础上，以低压绕组中典型油区计算单元，采用牛顿－拉普森方法进行迭代求解，得出各管道流量分布。计算实例与实验结果比较相符，说明计算原理及计算程序是正确的。     

对院校转型过程中育人问题的几点思考

笔者从教员的角度对军校转型中的育人问题有几点思考。军校的教育教学转型是一件无比艰巨又意义重大的工作,不论领导还是教员共同的目标都是培育高级应用型军事人才。我们在以爱的名义对学生进行教育的同时,往往忽略了学生的感受,我们所做的某些努力并不是学员们的真实需求,诸多付出反而成为一种非爱行为。教育工作者应在实践中查找诸如此类的问题并及时改正。同时,学员和教员自身也应为转型积极行动起来,在工作学习中弥补不足,以期使我院平稳顺利地完成教育教学转型工作。     

四区自对准选层大电容存储器

当共同研究所于1976年春第一次讨论具体方案时,IBM公司在此前一年就发表了电子束直接曝光的8K位存储器。该存储器单元面积是6.5×19.8=130微米~2,如果改用集成密度来描述时,即相当于0.78M位/厘米~2,因而在大约1cm~2见方面积上集成密度可达1M位,这是研究方案中的大致目标之一。不过,为了实现1M位存储器,现在还有必要进行一些改进。现     

半导体工艺用化学药品

近年来,半导体工业在微细加工技术方面取得了令人震惊的进步,集成电路每块芯片上的元件数也正在急剧地增加着。针对微细的LSI制造工艺这种迅速进步的情况,有关的外围行业生产也需要有相应的发展,化学药品当然也不例外。LSI制造工艺中使用的药品,包括有机药品和无机药品,种类相当繁多。随着器件的高密度化,不仅要求尽量减少药品中可能引起器件劣化的金属杂质,而且对于大大影响产品成品率等的微粒(尘埃),最     

干式变压器侧出线的参数化绘图方法

本文中作者分析了在不同出线方式、不同相序下变压器侧出线铜排的特点,给出了一套侧出线参数化绘图方法。     

E-2C“鹰眼”（Hawkeye）预警机的性能特点及研制历程概述

比较详细地介绍了美国舰栽预警机E-2C和其现装备的机载监视雷达AN／APS-145的主要性能、技术特点、研制历程、性能改进、投资及世界各国和地区购买E-2C预警机的情况。此外，文中对我国台湾购买的E-2T预警机的战术性能作了专项介绍。     

可同化有机碳AOC检测方法研究进展

可同化有机碳是反映水中生物稳定性的重要指标,其检测周期长、结果不精确,长期影响了该指标的广泛应用。从培养方式、计数方法、测试菌选择三个关键方面对可同化有机碳检测方法的原理、特点及其改进进行了梳理。最后对可同化有机碳分类检测、快速检测、动态检测进行了展望。     

电子器件密封用的液体材料

目前,光电子学已进入全盛时代,但在电子器件密封用的材料中,把光能用于高分子化学的紫外线硬化液体密封系统却突然引起了人们的重视,这当然是高可靠性的要求,然而电子工业的重点之一是追求生产率,因而缩短密封硬化时间非常必要。这和实现自动化无疑是紧密相关的。