基于ICP工艺的垂直微小硅镜的加工

利用自感应耦合等离子(ICP)蚀刻机进行硅深层反应离子刻蚀,得到了几微米宽的狭槽,其轮廓通常为正锥形,即蚀刻槽的宽度随着蚀刻深度的增大而减小.然而,对一个宽槽来说,由于等离子区内边界层的变形,其蚀刻宽度会随着蚀刻深度的增加而增加.在许多应用中,硅蚀刻轮廓侧面的垂直状况是一个关键性问题.叙述了分离式垂直镜的加工过程;研究了影响蚀刻轮廓的各种重要参数.经过引入多步制法与优化激励源、基底偏压源及加工压力,减小了等离子区边界层内的变形,改善了轮廓的蚀刻状况.得到的结果为:120μm高垂直微镜垂直度为89.7°,200μm高垂直微镜垂直度为89.3°.     

基于硅材料的微型气体涡轮机中微型燃烧器的设计和加工

由微型燃烧器、微型压缩机和涡轮组成的微型气体涡轮发动机有望成为微机电系统的能源系统.阐述了一种微型燃烧器的设计和加工.设计时力图增加流路的长度,其目的是减少微型燃烧腔的热损失和有效地对燃料和空气进行预热.该微型燃烧器由7片厚度不同的单晶硅片组成,通过ICP DRIE干刻蚀加工而成.组装后的微燃烧器的样件尺寸为21.5 mm×21.5 mm×4.4 mm,已成功地进行了氢气燃烧实验和测试.该微型燃烧器和转子组合后可以应用于微型气体涡轮发动机,与压电元件组合后可用于微型发电机.     

混凝土中外加剂的正确使用方法

在水利工程建筑施工中,某些水下或浸水部位的砼,设计指标,除有抗压强度外,往往还有其它耐久性指标,如抗冻、抗渗的要求。为了满足抗冻、抗渗的设计参数,单单靠调整普通砼的配合比是不可能满足施工与设计要求的,这时就需要借助在砼中掺入一定量的外加剂。本文就水利工程施工中,经常使用的减水剂木钙和引气剂PC-2的掺加问题加以探讨。     

高寒地区水泥混凝土路面降低断板率的措施

水泥混凝土路面施工期间的断板率是衡量水泥混凝土路面施工质量的重要指标。本文针对高寒地区的环境气候特点,从混凝土配合比设计、使用材料选择、施工过程中应注意的问题以及对路基的处理等方面提出了要求,以降低高寒地区混凝土路面施工过程中的断板率,保证施工质量。同时,对断板出现后的处理措施提出了建议。     

网格计算环境下基于移动代理的动态资源发现模型的研究

以两种通用概念模型即资源提供者-目录-请求者和虚拟组织模型为基础。提出一种基于移动代理的资源发现模型。     

分子动力学探究高压对β-乳球蛋白与多酚结合的影响

为探究不同压力下多酚与蛋白的结合规律,以表没食子儿茶素没食子酸酯(epigallocatechin gallate,EGCG)和 β-乳球蛋白为研究对象,采用分子对接和分子模拟研究两者结合能和结合机制在0.1、200、500、800 MPa时的变化.结果表明,EGCG常压下主要结合在疏水腔(1号区域),蛋白经200和5...     

利用湿氯气的显热提高入槽盐水温度的工艺

在氯气支管上,采用套管的形式用湿氯气预热入槽的精盐水,获得了较高的温差;同时还可避免电流短路的现象,使得电流的泄漏很少,符合安全生产的要求。     

水平涟漪纹管及光管管内冷凝换热机理实验研究

实验研究了制冷剂R410A在两种管径(9.52 mm和12.7 mm)的光管和涟漪纹管(1EHT管)管内冷凝换热特性,并根据部分工况下的流型对管内冷凝的换热机理进行了分析。实验中控制冷凝饱和温度为45℃,制冷剂流速范围为100～450 kg·(m²·s)^-1,干度控制在0.1～0.9之间。通过光管实验结果与预测关联式预测的对比表明,使用的单相和冷凝关联式都可以在较小的误差范围内预测实验数据,Hajal流型图可以准确的预测光管的流态,证实了实验设施的可靠性。实验结果表明：随着实验中制冷剂质量流速和干度的增加,光管和涟漪纹管的换热系数都随之增加且涟漪纹管的换热系数是光管的1.15～2.05倍。较小的管径可以通过影响制冷剂的流动状态进而提升换热系数来提高传热效率。     

融合MAML与BiLSTM的微博负面情感多分类方法

随着社交网络的不断发展,微博成为人们日常生活中分享观点和感情的重要平台,分析用户的情感倾向可以有效地应用于舆情控制、民意调查、商品推荐等工作.传统的深度学习算法在面对新的工作任务时,往往需要大量数据重新训练才能得到较好准确率.针对这一情况,提出了一种基于MAML(model-agnostic meta-learning...     

寒区既有重力坝二次震害研究

为探究寒区重力坝抵抗强余震的能力,根据实际情况,首先进行了冻融循环和紫外线辐照交替试验,根据试验结果建立数值模型;在此基础上,研究大坝在二次震害影响下应力及损伤分布情况。结果表明：混凝土劣化后,二次震害加深了高坝损伤,坝体下游折坡处的损伤程度明显;混凝土劣化和强余震双重作用,导致坝体上游死水位处在地震作用下会产生明显破坏,下游折坡处产生近乎贯穿坝顶的裂缝。该研究可为严寒地区既损混凝土坝的抗震评估和修复提供科学依据。