用网状阴极法在碳钢表面沉积氮化钽薄膜

介绍了一种新型的在钢铁基体上制备氮化钽薄膜的方法－－网状阴极法。其设备简单、价格低廉。试验中发现，在各个参数配比合适的条件下，可制备出结构为fcc(面心立方）和hex（密排六方）的氮化钽薄膜。薄膜较致密且均匀，与其体的结合好。同时分析了在最佳工艺参数条件下合成氮化钽膜的成分、组织、表面、断口形貌和结合力等。该方法为氮化钽薄膜作为结构材料使用提供了一种新的途径。