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材料表面改性领域的最新发展要求注离子改性范围在纳米量级,离子能量从几个eV到几百个eV,且必须具有强束流。通过离化团束(ICB)技术就可实现上述要求。 团粒是几十、几百或数千个原子或分子的聚合体,它很容易被电离和加速。1972年,Takagi等人通过一个喷嘴利用高温蒸发和膨胀进入真空形成了室温固体团粒,从此开始了离化团束沉积技术的发展。在常规离子束技术中采用原子或分子态离子,而离化团束采用电离的原子团。与单个原子束相比较,团粒束有不同的辐照效应,诸如沉积、溅射、损伤累积和动态退火等。团粒离子对材料的碰撞为表面处理 相似文献
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对Ti6Al4V 合金进行温度范围从100 ℃到600 ℃,注入剂量为:4×1017ions.cm-2氮离子等离子体源离子注入(N-PSII)。用俄歇电子能谱仪(AES)对注入样品进行元素深度分布剖面分析。用显微硬度及针盘磨损试验机测试表面改性的效果。利用X 射线衍射(XRD)分析表面改性层晶相的变化。用光学显微镜观察磨痕宽度。分析发现,当温度从 100 ℃升到600 ℃时,注入层厚度明显增加。其中,高温注入时获得较高的表面硬度和较好抗磨损性。XRD分析发现,随温度升高注入层表面形成TiN和Ti2N析出相。 相似文献
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采用激光拉曼光谱、轮廓仪、色差仪、微纳米力学综合测试系统、摩擦磨损试验机等设备,对霍尔等离子体源辅助中频非平衡磁控溅射制备的不同掺氮量的类金刚石薄膜的微观结构及其宏观性能进行了研究.结果表明,随着氩气/氮气流量比的增加,薄膜中的sp3含量出现极大值,极大值两侧对应着不同的微观机制.同时,薄膜的沉积速率逐渐降低,硬度与弹性模量呈现出先增大后减小.薄膜的颜色主要是黑色并随着氮气含量的增加薄膜反射率在红光波段增强. 相似文献
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模具是压力加工及其他成形技术的关键工艺装备,而模具材料是模具加工业的基础。但即使是新型的模具材料仍难以满足模具高的综合性能的要求。表面处理技术可以以下列两种方式被我 相似文献
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1.IntroductionAdustyplasmaisathree-componentplasmacon-sistingofelectrons,ionsandmassivesoliddustgrainsheldinsuspension.Thegrainsusua1lychargeneg-ativelytoalargevaIue[l].TheycommonlyoccurinspaceaJswellaslaboratory.Intypicallaboratoryplasmasthedustgralnsacquireanegativechargeduetoadominantcollectionofthemoremobileelec-trons.Atypicalisolated1pm-sizedustgraininaplasmawi1lhaveamasscorrespondingto1O12protonmass(m.)andachargeofafewthousandelectrons[2].lntroducingofathirdcomponentwlthh1ghlychargedan… 相似文献
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