应用于MEMS封装的TSV工艺研究

开展了应用于微机电系统(MEMS)封装的硅通孔(TSV)工艺研究,分析了典型TSV的工艺,使用Bosch工艺干法刻蚀形成通孔,气体SF6和气体C4F8的流量分别为450和190 cm3/min,一个刻蚀周期内的刻蚀和保护时长分别为8和3 s;热氧化形成绝缘层;溅射50 nm Ti黏附阻挡层和1μm Cu种子层;使用硫酸铜和甲基磺酸铜体系电镀液电镀填充通孔,比较了双面电镀和自下而上电镀工艺;最终获得了硅片厚度370μm、通孔直径60μm TSV加工工艺。测试结果证明:样品TSV无孔隙;其TSV电阻值小于0.01Ω;样品气密性良好。     

计量技术机构客户信息与样品信息唯一性保障系统

论述了计量技术机构客户信息和样品信息唯一性的保障方法及系统。其原理主要是通过获取组织机构代码（或电子黄页）企业基本信息数据库以建立本地送检机构信息库,并通过客户联系卡、单位代码、样品条码、分屏共览、现场数据采集手持终端、网上业务受理平台、专用词法分析器、数据动态清洗及严格的审核机制等多种手段,最大化保证客户信息和样品信息的唯一性。     

CMC评估和表示的方法初探

本文论述了利用Excel电子表格对校准和测量能力(CMC)评估及表示的方法和过程。借助Excel软件,对不同被校准值的不确定度分量进行分析,并利用Excel绘制被测量与其对应测量不确定度拟合曲线。合理选择CMC评估中测量范围分段和CMC的合理表述。     

雷击变电站地网对电缆感应过电压的理论计算

主要研究雷击电流通过地网对二次电缆产生的干扰。根据电缆的几何参数,计算电缆的阻抗参数,形成阻抗参数矩阵,建立分布参数模型和波动方程,通过相模变换将其解耦,然后转化成电气上彼此独立的一维波动方程,用基于Bergeron的特征线法ATP-EMTP进行暂态计算。     

关于检验检测机构设备内部校准的探讨

针对检验检测机构如何有效实施设备内部校准这一难题,文章从人员、设备的配备,环境设施的配置,方法的制定和确认,以及结果质量监控等方面进行了深入的分析和探讨,从而达到规范检验检测机构内部校准行为的目的,保证了检测结果的溯源性。     

瓦斯-煤粉粉尘气固2相爆轰特性测试

研究纯煤粉粉尘爆炸特性和甲烷对煤粉粉尘爆炸的影响。结果表明:煤粉粒径越大,爆炸压力越小,爆炸压力随煤粉粉尘浓度增加先增大后降低;甲烷的加入会增加煤粉粉尘爆炸时的爆炸压力;但是在煤粉浓度很大时,甲烷的提高作用则不明显。     

某水电站大轴补气管渗漏原因分析与处理

通过对某水电站机组在运行过程大轴补气管发生渗漏原因进行分析,对大轴补气管密封圈改造更换,成功消除了补气管密封损坏导致转子中心体渗水的重大缺陷,有效防止因其渗水引发转子绝缘降低造成机组事故停机事件的发生,提高了机组运行稳定性,为国内外同类型机组大轴补气管渗水检查处理积累了宝贵经验。     

机动车火灾发生规律及防火对策研究

基于2015—2016年郴州市发生的机动车火灾事故,运用统计学方法,从火灾事故发生区域、时间段、出警时间及消防车是否参与灭火等方面进行研究,得出了郴州市机动车火灾发生规律,提出了防治机动车火灾事故的对策和建议。     

基于异构编程模型的FFT算法实现和优化

FFT（快速傅立叶变换）是一种广泛应用于科学和工程领域的算法,现实应用中数据规模较大,需要高效实现才能满足实际应用需求。为了研究使用异构编程模型高效实现FFT算法,以华为鲲鹏处理器和昇腾AI加速芯片为实验平台,以SYCL语言为异构编程语言,实现了Cooley-Tukey基-2时域抽取FFT算法的方法和优化策略,并且提出了一种数据对切重组优化算法,大幅提高了对硬件并行能力的利用率。使用异构编程模型实现快速傅立叶变换算法可以更好地发挥异构计算设备的性能优势,易于编程且具有更高的兼容性。测试表明,在一定规模下,优化后的算法性能相比于优化前快了220.39倍。     

模块导热盒微热管安装工艺研究

随着模块集成度越来越高,集成芯片被大量使用,这些芯片功耗高,散热成了决定产品稳定性和运行时间长短的重要因素。在导热盒设计中,微热管散热应用广泛,微热管的安装方式直接影响着产品的质量和生产效率,现通过模块导热盒微热管安装工艺研究,找到了压力机和阴阳互补的支撑模具配合使用的压合方式,满足了生产需求。