单晶硅各向异性湿法刻蚀的形貌控制

针对摆式微加速度计的制作,对利用两种添加剂共同修饰的TMAH刻蚀液的单晶硅湿法刻蚀技术及其相关刻蚀特性进行了研究。分析了两种添加剂之间的作用机理及对单晶硅湿法刻蚀的影响,选择合适的添加剂刻蚀液配比,实现了稳定的刻蚀形貌控制。通过两种添加剂的共同作用,获得了具有光滑刻蚀表面(粗糙度约为1nm)和良好凸角保护(凸角侧蚀比率小于0.8)的刻蚀形貌。实验结果表明,在三重溶液(TMAH+Triton-X-100+IPA)下的刻蚀形貌具有明显优势。最后,基于添加剂对疏水性单晶硅材料的作用机理及表面张力调节,表面活性剂和酒精类添加剂之间的相互作用分析了刻蚀形貌发生变化的原因。以典型悬臂梁-质量块的制作为例,验证了采用该单晶硅刻蚀形貌控制方法可以获得微加速度计光滑的悬臂梁表面和无需凸角补偿的完整质量块。相比于其它制作工艺,该方法简单、易操作,有利于提高微机电器件的性能。     

高石梯构造钻井技术研究与应用

高石梯构造位于乐山-龙女寺古隆起区,以震旦系灯影组及上覆寒武系储层为目的层,地层极为复杂,易塌、易漏、石膏层多、地层压力梯度变化大、可钻性差等,钻井速度慢。为了攻克提速问题,分析了本构造的地层特性和难点,优化井身结构设计和钻具组合,优选钻头,采用了螺杆+PDC复合钻井、液动冲击钻井、顶部驱动等工艺技术。本文研究了近几年在高石梯构造上相应工艺技术的运用情况,进行实用性对比分析,总结出了一套高石梯构造的钻井提速技术,通过在高石17井、高石7井等的应用,在防喷防塌防卡和安全提速上效果明显。     

H-ZSM-5分子筛催化剂上乙醇脱水合成乙醚的研究

乙醇是一种重要的生物质平台分子,而乙醚是一种具有广泛用途的化学品,因此将乙醇高效脱水合成乙醚受到了广泛的关注。文章通过在不同温度下处理H-ZSM-5分子筛,获得了一系列比表面和晶型类似,而Brnsted酸位点比例不同的催化剂。进一步研究发现,催化剂单位酸位点脱水活性随着Brnsted酸位点比例下降而线性下降。所以我们认为在催化乙醇脱水合成乙醚的反应中,Brnsted酸位点起主要作用。     

微射流驱动弯曲测试法测量微结构的弹性模量

提出了一种新颖的用于测量微结构力学性能的弯曲测试法——微射流驱动的弯曲测试法(microjet-driving microbending test method,JDBT)。该方法利用气体微射流连续冲击微结构,使之发生弯曲变形,通过获取结构的尺寸参数和形变位移,并代入结构的变形公式,从而反解出材料的力学性能参量。利用动量定理推导了微射流作用力公式,对某型号石英摆片式加速度计的敏感结构进行了理论建模,并用COMSOL MULTIPHYSICS有限元软件对理论公式进行了修正,接着通过JDBT实验得到了不同流量下的结构位移,最后将结构尺寸和结构形变位移代入修正后的理论公式,从而得到了石英玻璃的弹性模量约为71GPa,比纳米压痕仪测试的结果要小14%左右,与文献中提到的结果吻合较好。     

交换法合成封闭型异氰酸酯的研究

本文主要介绍了采用常规的封闭剂对甲苯二氨基甲酸甲酯(TDC)中的甲氧基进行交换,直接得到封闭异氰酸酯。     

二维网格中基于最小通路区的自适应和最小容错路由算法

网格结构是并行与分布式处理中最流行的一种网络拓扑结构。在存在故障的情况下，如何设计具有最优性的容错路由算法一直是研究的热，点问题。本文研究了采用故障块模型的二维网格的最小路由问题，提出存在最小通路的一个充分必要条件。基于最小通路区（RMP）的概念，提出一种自适应的最小容错路由算法。如果源节点和目的节点之间存在最小通路区，则在最小通路区中进行自适应最小容错路由；反之，则采用多阶段最小容错路由。主要思想就是在存在故障的情况下，尽量保证路由算法能走最短路径。因为只要求知道每个节点的局部信息，故算法是分布式的。     

非易失性存储器数据掉电保护的硬件解决方案

对安全芯片非易失性存储器(NVM)的数据掉电保护原理进行分析。考虑到软件的处理速度不能满足安全芯片对数据存储的性能要求等因素,提出一种以硬件方式实现的NVM数据掉电保护的解决方案。该方案采用乒乓结构,将两块同样大小的Flash空间轮流作为目标区和备份区,每次更新完成后需要对备份标志及备份次数进行更新。如果更新过程中芯片发生掉电,再次上电后通过比较两块区域的备份标志以及备份次数,就可以判断出哪块区域的数据是有效的。该方案不但能保证安全芯片非易失性存储器(NVM)的数据掉电不丢,而且能提高NVM数据更新的性能。     

活性炭上天然气湿储方法研究

天然气湿储技术是强化天然气低压存储的有效手段。研究了载水量、温度、吸附剂孔径分布和填充密度、存在较重碳氢化合物等因素对储气容量和储气压力的影响。结果发现孔径在3nm~5nm、具有中等比表面积和较大孔容的活性炭吸附剂用于天然气湿储是比较适宜的,最佳水含量与所用炭材料的孔结构性质密切相关,温度对充放气量影响不大。在实验的基础上可确定该方法的最佳存储条件。     

城市旧居住区改建中公共建筑的分级结构研究

在改建过程中,对于改建地点的公共建筑的配建就成为了一项较为重要的工作。本文分析了旧居住区改建的意义,并讨论了传统的"三级结构"式配建方式已经不能够满足现代城市的改造,并对"基本生活单元"式的分级建筑结构优点进行了论述。     

泛在、移动互联网的体系结构

文章针对现有互联网由于原始设计模式方面的不足,难以满足泛在、移动用户的多元化网络服务需求的问题,创造性地提出全新的泛在、移动互联网体系理论与总体框架;创建一种。基础设施层。模型与理论,解决用户在任何地点、任何时间、以任何方式接入到互联网的问题;建立一种。普适服务层”模型与理论,实现对普适服务的支持;并提出新网络体系下的移动性管理机制。新的网络体系结构可克服现有互联网存在的弊端,有效满足泛在、移动方面的多元化网络服务需求。