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电容式位移传感器的线性度标定与不确定度评定 总被引:1,自引:0,他引:1
由于光刻投影物镜装调中电容传感器的线性度指标不能够满足位移调节精度的需求,本文提出了一种提高电容传感器测量线性度的方法。该方法采用压电驱动器提供位移进给;采用高精度激光测长干涉仪校准电容传感器的线性度,提供位移反馈以保证运动控制精度。采用高阶曲线拟合方法得到拟合系数对传感器线性度进行在线标定;对标定实验中的环境、安装、机构以及控制等进行不确定度分析与评定以保证电容传感器的线性度测量精度;最后进行电容传感器线性度的标定实验。实验结果表明:本文提出的线性度标定方法能够减小各误差项对于测量结果的影响,标定后传感器线性度由0.047 14%提高至0.004 84%,近一个数量级,并且线性度重复性较高,重复性偏差为0.38nm,全行程内线性度的合成不确定度为5.70nm,能够满足光刻物镜中位移控制精度的需求。 相似文献
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超精密平台中使用压电陶瓷驱动器提供位移进给,采用集成应变式位移传感器的驱动器能够减小磁滞与蠕变特性,提高位移控制精度。设计并实现应变式位移传感器位移检测电路,介绍电阻应变式位移传感器位移测量原理;设计位移传感器电路,采用仪表放大器、同相衰减器与低通滤波器电路得到正比于位移变化的电压信号并输出;最后对位移传感器电路进行实验验证。实验结果表明:设计的传感器检测电路的电噪声峰‐峰值为0.390mV,输出电压分辨率小于0.6mV,对应的位移传感器的分辨可达1 nm ,能够有效提高压电陶瓷的精度。 相似文献
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为提高三维视频系统的编码效率,提出了一种针对中间视点的深度时域下采样编码方法.首先确定深度图像的丢弃方式;然后利用基于时间一致性和视点间的相关性,恢复出丢弃的深度图像,并对恢复出的结果进行维纳滤波,进一步提高恢复的深度图的质量.该方法需要向编码端发送维纳滤波器系数和重建深度选择标识符.实验结果表明,在保证同等码率的前提下,解码端重建的虚拟视图的峰值信噪比最大能提升0.229dB,平均提升0.130dB,编码性能得到改善. 相似文献
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针对光学精密工程中位移检测问题,研制了一种电容式位移传感器线性度标定装置。阐明了标定装置的组成和标定方法的原理,该装置采用运动轴、测量轴和传感轴三轴共线的设计方案,从测量原理上降低了阿贝误差。基于伪刚体模型和拉格朗日方程建立了机构位移、刚度、强度和固有频率的理论模型,为机构优化设计提供理论依据。计算和仿真结果表明理论模型和有限元分析误差分别为3.764%、3.908%、14.842%和2.666%。试验结果表明行程测试值与理论值、有限元计算值的误差分别为9.254%和13.524%,刚度测试值与理论值、有限元计算值的误差分别为8.472%和11.914%。标定后传感器测试线性度由0.057 48%提高至0.004 39%,测试精度改善明显,能够满足光学精密位移测试需求。表明所搭建的标定装置有效,且建立的机构理论模型和分析方法可信。 相似文献
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为了明确玉米—烤烟间作区玉米田除草剂漂移对烤烟的药害作用,筛选对烤烟主栽品种较为安全的玉米田常用除草剂,以主栽烤烟品种为试验材料,对玉米田常用除草剂(38%莠去津SC、7%2,4-D丁酯EC、20%氯氟吡氧乙酸EC、56%二甲四氯钠WP、15%炔草酯WP、10%苯磺隆WP和15%硝磺草酮SC)开展了药害试验。设置推荐使用剂量、推荐使用剂量稀释不同倍数(10、20、50、100和150倍)、清水对照共7个处理。用药后调查记载烟苗的受害程度,并计算药害指数和药害株率。结果表明,7种除草剂在一定剂量范围内对烤烟植株生长均有影响,且影响程度存在显著差异(P0.05)。其中,2,4-D丁酯和氯氟吡氧乙酸药害较重,推荐使用剂量为稀释150倍的处理,多数参试烟株仍然表现出明显药害症状;二甲四氯钠药害次之;苯磺隆与硝磺草酮的药害程度居中;莠去津和炔草酯的药害较轻。烤烟品种云烟87和中烟100对7种参试药剂中的6种耐药性较差,NC55和K326对多数除草剂耐药性较好。因此,建议烟区的玉米田施用除草剂优先选用莠去津和炔草酯,其次为硝磺草酮和苯磺隆,杜绝使用2,4-D丁酯和氯氟吡氧乙酸,慎用二甲四氯钠。 相似文献
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一台可以满足对完美画质的追求,可以提供更精细、更高画质,价格又低廉的数码彩色扩印设备一直是彩扩店业主们的梦想。可惜的是,到目前为止这样的彩扩设备并不多。一直听说爱普生公司在研制一种专用于彩扩行业的液晶面板,直到2008年2月,爱普生公司才宣布全新320万像素LCD“PANDA”在日本爱普生公司北海道工厂研制成功,但不知这款被爱普生寄予厚望,宣称能和激光彩扩设备一决高下的液晶面板,是否真的能给人们带来惊喜。 相似文献
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