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锑化铟是中波红外探测应用较广的材料。抛光片的表面粗糙度是影响器件性能的关键指标。研究了锑化铟化学机械抛光(Chemical Mechanical Polishing, CMP)液的pH值、氧化剂比例以及抛光液流速对锑化铟抛光片表面粗糙度的影响,并结合原子力显微镜(Atomic Force Microscope, AFM)和表面轮廓仪测试对抛光片的表面粗糙度进行了表征和优化。结果表明,当pH值为8、氧化剂比例为0.75%、抛光液流速为200 L/min时,InSb晶片的表面粗糙度为1.05 nm (AFM),同时晶片的抛光宏观质量较好。 相似文献
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电子标签生命周期中,电子标签的拥有者常发生变更,为确保变更前后拥有者存放在电子标签内部隐私信息的安全性,设计了一种所有权转移协议.协议适用于开环状态下的RFID系统中;为保障发送消息的安全性,采用二次剩余定理加密,同时为尽可能降低通信整体计算量,结合创新型的置换交叉合成运算对部分信息加密.协议与近年其他此类型协议做安全... 相似文献
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研究了不同类型阻燃剂(RXA085、MH1100、MH5018C)对EVM性能的影响.结果 表明,在实验范围内,添加RXA085型阻燃剂的低烟无卤胶料的力学性能和撕裂性能优异;加入MH5018C型阻燃剂的胶料具有优异的阻燃性能. 相似文献
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医院的信息化和智能化高速发展,对信息中心管理工作的要求不断提高,现代化医院的信息中心作为将应用、管理和维护统一成一体的综合性管理科室,其在医院中发挥得非常关键的作用.鉴于此,本文就医院信息化和智能化综合管理设想展开探讨,以期为相关工作起到参考作用. 相似文献