台阶高度的评定方法

台阶高度在纳米计量领域是一个重要的参数。纳米精密测量条件下,用不同测量原理对台阶和线宽等有关尺度测量结果差异的解释与裁决,需要国际间协同进行合作比对。而微细结构的台阶高度测量已成为当前纳米测量技术和纳米计量标准的重要课题之一,已得到了世界主要工业国家的普遍重视。有必要对此工业界和学术界使用的不同台阶高度计量方法做一个总结和比较。     

线性轮廓滤波器的不确定度传递规律研究

基于新一代产品几何规范（GPS）标准体系的线性轮廓滤波器的基本原理,提出一种线性轮廓滤波器的不确定度传递规律的计算方法,从而可以由输入轮廓的不确定度计算出经过滤波后的输出轮廓的不确定度。最后给出一个高斯滤波器的测量实例。     

微镜阵列的缺陷提取与识别

微镜阵列作为现在广泛应用的一种微米量级的微小型光学元件,缺陷识别是其加工制造的一个重要问题.文章着重于微镜特征提取和微镜阵列的评定.使用Gabor滤波和灰度共生矩阵提取缺陷特征,提出了基于支持向量机的多类分类缺陷识别方法.根据统计学原理,使用核函数将样本映射到高维空间进行训练.综合各种核函数的测试准确率,得到解决该问题的最佳核函数.通过比较不同的多类分类算法,提出了基于 DAGSVM的诊断模型.并通过不同的特征向量与和不同的分类器的比较,实验结果表明该方法识别率高,识别速度快,容错性好,而且能够正确识别有缺陷的微镜图像.     

微透镜阵列的计量标准化

分析了连续表面微透镜阵列的几何参量和光学性能的检测方法,介绍了最新的ISO14480系列标准。针对典型的微镜阵列元件,给出其详细结构尺寸,从而建立了一套通过测试元件的几何参量、加工误差来综合评估微光学元件性能的方法。     

新一代产品几何量技术规范(GPS)中的几何要素

几何要素是构成工件几何特征的点、线和面。研究了新一代产品几何量技术规范(GPS)中几何要素的术语、定义、分类以及它们之间的相互关系,介绍了几何要素的操作与操作算子等数学处理工具,并给出了在产品设计、规范和认证过程中的应用。     

基于特征自由度变动的装配误差累积建模研究

利用基于装配功能对于各零件装配特征变动的雅可比矩阵,结合特征自由度和变动理论,建立表示装配功能要求的特征变动与装配零件特征变动联系的数学模型。运用该数学模型,可以定量地表示装配特征的变动对产品装配功能要求的影响,为设计者指出对装配功能影响较大的零件公差并有针对性地对其进行公差分析。