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椭圆偏振光谱法(简称椭偏法)是一种常见的薄膜光学参数测试方法,具有灵敏度高、测试精度高且对测试样品无损伤等优点.首先系统介绍了有效介质近似(EMA)理论模型的基本原理,在此基础上,采用EMA模型对制备的Si薄膜样品的椭偏光谱测试结果进行了计算机拟合.结果表明,当设定样品结构为多晶、非晶和孔隙的混合物时,计算结果与测试数据完全吻合,由此得到了样品的微观结构信息. 相似文献
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在简要回顾传统高密度等离子体源的基础上,重点介绍了新一代的低温高密度等离子体--电感耦合等离子体源(ICP)的放电机理,并结合最近的研究进展,系统分析了ICP的性能影响因素,总结了ICP目前存在的问题,展望了其应用前景. 相似文献
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从密度矩阵出发,在适当的近似条件下,导出了三能级原子在双脉冲光场驱动下的类似两能级Bloch方程形式的动力学方程组,并利用数值求解,建立了一套处理程序,考查了双Guoss脉冲作用下三能级原子布居数的时间依赖关系,着重分析了脉冲强度、相对延迟、频率失谐、电离速率等动力学参数对离子产额的影响。 相似文献
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