自组织纳米微结构的制备技术

自组织纳米结构以其新颖的结构特点以及在纳米器件中的潜在用途成为当今纳米技术的研究热点.本文总结评述了国内外关于自组织纳米结构的制备及应用的研究进展.重点总结了低能离子束刻蚀自组织纳米结构的制备技术、表征技术、形成机理和应用探索等方面的研究工作.在单晶半导体材料Si、Ge以及Ⅲ/Ⅴ族化合物等材料表面,利用低能离子束刻蚀可以获得自组织纳米点状结构和自组织纳米条纹结构.总结了低能离子束刻蚀自组织纳米结构的形成与离子束入射角、离子束能量、离子束发散角、气体离子种类、刻蚀时间、衬底温度、加速栅极电压和样品的旋转等参数的关系.评述了低能离子束刻蚀自组织纳米结构的形成机理.展望了相关研究的前景.     

用于MEMS变形镜的双电极压电厚膜致动器

提出了一种用于MEMS变形镜的双电极驱动的压电陶瓷（PZT）厚膜致动器．采用有限元方法分析致动器变形时的应力分布情况,优化了内外圈电极尺寸,制作了61单元六边形分布的致动器阵列．测试结果表明,致动器在100V工作电压下的;中程约为6．6μm,谐振频率为58kHz,位移迟滞为8％～9％,通过采用单边电压一位移曲线的策略有效降低了位移迟滞,并进一步提出了分时驱动的电路方案．     

MEMS变形镜用PZT厚膜致动器阵列的制备及性能表征

提出了一种基于锆钛酸铅(PZT)压电厚膜致动器阵列驱动的MEMS微变形镜,建立了该微变形镜的结构模型,分析了其结构中各层厚度对其性能的影响.PZT压电厚膜是通过基于PZT压电陶瓷体材料的湿法刻蚀技术制备的,刻蚀液为1BHF2HCl4NH4 Cl4H2O.以数字锁相方法测试了压电厚膜的介电性能,在100 kHz以下时,其介电常数和介质损耗分别优于2400和3%.利用悬臂梁方法测试了压电厚膜的也.横向压电系数,约为-250 pm/V.制备了4×4阵列的压电致动器阵列.采用激光多普勒测试压电致动器的电压位移曲线,在100 V的电压驱动下致动器的变形量大约为2.2/μm;测试了致动器的频率响应,其谐振频率高于100 kHz;致动器刚度大,带负载能力强.     

“颠覆”还是“传承”——现代男性穿裙装现象的思考

历史上以及世界各民族男子穿都有穿"裙子"的现象,现代设计师把男性的裙子带上T台,为人们带来了新的着装方式,给我们的审美带来了新鲜空气。一些时尚男士们已经开始穿着得体裙子为男性开辟着装新风范。所以不管是历史传承还是颠覆传统,男子穿裙子终归是美丽的。     

PZT铁电薄膜的雾化湿法刻蚀技术研究

PZT薄膜的微图形化是制备基于PZT薄膜微传感器和微驱动器的关键技术之一。通过引入雾化技术,改进了传统的PZT薄膜湿法刻蚀方法,进一步减小了薄膜微图形的侧蚀比,提高了图形的转化精度。选用体积比为1∶2∶4∶4的BHF/HCl/NH4Cl/H2O溶液作为刻蚀液,对溶胶-凝胶法制备的1μm厚PZT薄膜作雾化湿法刻蚀,刻蚀速率为28 nm/s,侧蚀比为0.5∶1。对所得样品表面区域进行EDS分析表明,所得PZT薄膜图形表面无残留物,该工艺可用于MEMS领域中PZT薄膜的微图形化。     

厘米尺度亲疏水间隔表面水下气膜维持效果及机理研究

目的 面向水下航行器减阻技术挑战,克服现有全超疏水表面气膜维持效果较差的问题,提出了厘米尺度的亲疏水间隔表面水下气膜维持思路,以获得更高的水下减阻性能。方法 采用k-ω湍流模型对厘米尺度的亲疏水间隔表面、全超疏水表面进行了流速0.5 m/s的水流冲刷模拟仿真,其中亲疏水间隔表面设定凹槽中的超疏水表面接触角为165°,亲水间隙接触角为45°;全超疏水表面的接触角均为165°。随后基于仿真结果,对厘米尺度的2种表面在不同水流速度和供气条件下进行水流冲刷实验,研究了这2种表面在不同实验条件下的气膜形状变化。结果 仿真结果显示亲水间隙的存在使凹槽内的气体受到钉扎束缚作用,可以实现气膜维持。实验结果显示在厘米尺度下,全超疏水表面在流速为0.55 m/s的条件下气膜维持情况较好,但在流速达到0.94 m/s,雷诺数为Re=14 030时,实验部分的流动状态为湍流状态,凹槽内气膜覆盖的面积时有变化,能覆盖的面积一般不超过凹槽面积的50%,很难维持完整的气膜;而在0～1.2 m/s的流速范围内,亲疏水间隔表面能够在超疏水区域始终维持稳定气膜表面,具有好的气膜维持效果。结论 相比均匀的全超疏水表面,亲疏...