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据《国际半导体》杂志(英文)1995年第8期报道,索尼公司已开发成功一种能用于0.18μml艺的光刻技术。在最近几年,为了大规模高密度单芯片器件和ASIC生产的需要,各种数字和多功能的设备大大增强。这就引起光刻技术向缩短爆光波长,即光源从目前的i线向KrF激光的转变。与此同时,也在用斜掩模照射光和相移技术来改善微细光刻的精度。然而,常规的斜照射光方法照在掩模版上可以增加微细图形的焦深。这意味着对低密度图形的曝光是不充分的。另一方面,一种不用斜照射光但结合了分布照射光和相移掩模的技术,需在目标掩模图形的相邻点建… 相似文献
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简略介绍了热塑性聚氨酯弹性体的加工方法、加工工艺及其应用领域。对热塑性聚氨酯制品的缺陷和产生的原因进行了分析,并提出了一些可能解决的办法。 相似文献
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连续波掺钛蓝宝石激光器的全波段可调谐振荡日本昭和光子公司开发连续波掺钛蓝宝石的全波长可变区(663~1090urn)的宽带、低损耗反射镜,并与理化学研究所光动力学研究中心共同研究,仅用一组这种反射镜在世界首次实现掺钛蓝宝石激光器的全波段振荡。它打破了... 相似文献
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赵红玉 《数码设计:surface》2012,(7):149-150
当今时代,随着文化与经济的不断发展,市场越来越需要能快速适应社会发展的全方位设计人才。就艺术设计专业而言,对设计人才的培养应是多层次、多元化的。目前国内艺术设计教育与市场还存在脱节的现象,传统的视觉传达设计教育模式受到考验。本文通过论述工作室制教学模式的优点,探讨了艺术设计专业设立工作室制的重要性。 相似文献
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