索尼公司开发成功用于0.18μm工艺的光刻技术

据《国际半导体》杂志（英文）1995年第8期报道，索尼公司已开发成功一种能用于0．18μml艺的光刻技术。在最近几年，为了大规模高密度单芯片器件和ASIC生产的需要，各种数字和多功能的设备大大增强。这就引起光刻技术向缩短爆光波长，即光源从目前的i线向KrF激光的转变。与此同时，也在用斜掩模照射光和相移技术来改善微细光刻的精度。然而，常规的斜照射光方法照在掩模版上可以增加微细图形的焦深。这意味着对低密度图形的曝光是不充分的。另一方面，一种不用斜照射光但结合了分布照射光和相移掩模的技术，需在目标掩模图形的相邻点建…     

热塑性聚氨酯弹性体的加工及其应用

简略介绍了热塑性聚氨酯弹性体的加工方法、加工工艺及其应用领域。对热塑性聚氨酯制品的缺陷和产生的原因进行了分析，并提出了一些可能解决的办法。     

连续波掺钛蓝宝石激光器的全波段可调谐振荡

连续波掺钛蓝宝石激光器的全波段可调谐振荡日本昭和光子公司开发连续波掺钛蓝宝石的全波长可变区（６６３～１０９０ｕｒｎ）的宽带、低损耗反射镜，并与理化学研究所光动力学研究中心共同研究，仅用一组这种反射镜在世界首次实现掺钛蓝宝石激光器的全波段振荡。它打破了...     

立式离心浇铸机结构设计的探讨

文中介绍了作者在LXB1000型立式离心浇铸机(厂定型号)的设计和试验中的体会,并对立式离心浇铸机主要参数和结构设计进行了探讨。     

亚微结晶钼的组织和热稳定性

具有亚微结晶组织的材料引起很多研究者的兴趣，因为它们具有许多不凡的物理机械性能．剧烈塑性变形方法是获得亚微结晶材料的希望途径之一．用这种方法在不同类型的结晶晶格中和能量堆垛层错的材料（Cu、Ni、Fe及金属间化合物Ni3Al、TiAl）中可以获得纳微结晶和亚微结晶组织．但是在文献中实际上没有关于纯难馆金属亚微结晶组织形成的资料．采用塑性变形和退火可获得细晶粒钻，由于材料的低塑性，在普通条件下变形伴随有显微裂纹、分层及其它缺陷发生，在高水静压力下采用扭转变形，像钢这样的脆性材料是可行的．用粉末冶金方法获得的纯…     

变形和微合金化对铌基合金组织和热强性能的影响

铌基合金的特征是高的热强性，可用作在1200℃或更高温度下工作的部件．含有高于15％强化元素（钨和铜）的合金，其缺点是塑性低．在铸态下含有20％钼的铌合金相对延伸率约为1％．多次变形和随后再结晶退火可以提高合金的塑性，同时，很多研究证明，对难变形和脆性材料合金化，用少量表面活性元素提高它们的塑性性能也是有效的．Nb－20％Mo合金样品变形次数和退火温度对晶粒平均尺寸、部分再结晶范围和相对延伸率影响的研究结果如下表所承．经两次电子束熔炼和随后真空电弧熔炼的Nb－20％MO合金铸锭，在1650℃～1750℃高温条件下第一次技…     

半水—二水法磷酸的脱氟研究

介绍半水—二水法磷酸用各种脱氟剂脱氟的效果