一种高性能横向接触式微机械RF开关的分析与设计

设计了一种新型横向接触式微机械RF开关,描述了其结构和工作原理．采用以电镀为主的工艺流程,并利用SU8光刻胶实现特殊器件结构,可实现Post-CMOS集成．利用模拟软件CoventorWare 2004和MEMS Pro 5．0（包含ANSYS8．0）协同设计,对该器件进行了静态、模态和瞬态分析,得到吸合电压和吸合时间等重要性能参数．尤其在瞬态分析时运用了集总参数建模的方法,简化了计算．该器件的吸合电压低于30V,在驱动电压为50V的情况下,吸合时间达到16．1ms．     

新概念武器--超空泡水下高速武器

对俄罗斯和美国的超空泡武器发展前沿进行了跟踪报道与研究,并进一步分析了超空泡武器的相关技术突破和未来发展趋势。     

用于MEMS的选择性形成多孔硅技术的研究

提出了一套采用扩散工艺在低掺杂的硅衬底上选择性形成多孔硅牺牲层,并制作了MEMS器件结构的工艺流程,进行了工艺流水.对得到的结果进行了详细的讨论.对于KOH溶液释放多孔硅牺牲层技术进行了研究.     

使用超声搅拌实现精密KOH各向异性体硅腐蚀

对使用超声搅拌和不加搅拌时(100)单晶硅的腐蚀特性进行了研究和对比.使用超声搅拌,可以得到光滑的、无小丘的腐蚀表面,整个硅片腐蚀深度的误差不超过1μm.实验结果表明,该方法可以有效地实现精密KOH各向异性体硅腐蚀.     

一种高制动效率大角度硅扭转微镜MEMS光开关的设计

提出了一种利用静电力制动扭转梁带动微镜旋转,从而实现二维开关功能的MEMS光开关.使用ANSYS和COVENTOR软件对器件结构进行了模态、静态和瞬态分析,并对微镜制动梳齿的位置、器件的尺寸和扭转梁结构进行了优化.通过在微镜下方设计大空腔实现微镜90°的大角度扭转,使用新型衬底梳齿和结合扭转梁设计实现高静电制动效率,将制动电压降至18V.引入背面梳齿提高开关响应速度,模拟结果表明,光开关具有毫秒量级响应时间.与其他设计相比,该设计的微镜具有扭转角度大、制动效率高且开关速度较快的优点.     

一种新型高灵敏度横向电容式硅微加速度计

提出了一种新型高灵敏度横向电容式硅微加速度计．根据差分电容极板间正对面积的改变来检测加速度大小．保证输出电压与加速度之间的线性度．系统刚度可由静电力调节、为了提高电学灵敏度,在检测电容极板上设计高K介质层,增大了检测电容量,减小了杂散电容的影响．使用Coventor Ware对本设计进行机械分析、力电耦合分析和模态分析,仿真结果与理论计算相吻合．加速度计使用简单的表面牺牲层工艺即可完成,具有很好的发展前景．     

基于层次分析法及灰色聚类决策模型的主动配电网经济活动外部性评价

近年来随着大批主动配电网项目在各地开展,客观准确地进行项目的经济活动外部性评价能够有效确保主动配电网项目科学高效、可持续发展,同时也成为了项目中不可或缺的一步。首先构造了主动配电网经济活动外部性评价系统,接着建立了基于层次分析法及灰色聚类决策模型,最后针对某主动配电网项目进行经济活动外部性全面性评价。为日后开展此类评价工作提供了参考。