基于干法刻蚀技术的氮化镓MEMS加工工艺(英文)

氮化镓(GaN)材料已成功应用于光电子器件、高频功率器件等领域.近年来,由于GaN优异的材料特性,例如机械、热、化学稳定性以及生物兼容性等,使基于GaN的微机电系统(MEMS)得到了学术界的广泛关注.针对氮化镓MEMS结构的有效的图形化及释放技术是工艺研究的重点.设计、采用了一种全干法刻蚀技术,实现了(111)晶向硅衬底上的氮化镓基MEMS微结构的加工制造.利用提出的工艺方案,实现了多种悬浮GaN微结构的加工与测试表征实验.通过电子扫描显微镜(SEM)和光学轮廓仪进行了基本形貌表征;利用微拉曼光谱实验进行了加工结构的残余应力表征.     

空间建构教学模式的实践与反思 ——西安建筑科技大学建筑基础教学课程设计

实体空间搭建是目前国内外建筑学教育中的热门话题,但其长期以来多以竞赛形式出现,与课程教学尤其是建筑基础教学联系不够紧密.针对这种情况,西安建筑科技大学建筑基础教学团队借助新工科教学改革的机会,尝试在原有空间建构教学方式的基础上,引入工坊式教学模式,让学生积极参与大比例模型的实体搭建,理解建筑空间生成的逻辑性及技术支撑对...     

浅谈危险废物处理处置工程的规划及设计

根据笔者近10年来在危险废物处理领域的体会,在探讨了危险废物处理处置工程规划和设计应遵循的原则、处理处置工程一般应包括的工程设施的基础上,重点探讨了危险废物处理处置工程的物流体系、规划和设计的具体方案及其应注意的问题。     

采用DGS降低相位噪声和提高输出功率的倒扣集成振荡器

设计了一种新型的缺陷接地结构(DGS)并将之应用到倒扣集成毫米波振荡器中.分析并比较了具有DGS结构和没有DGS结构的两种振荡器性能.测试数据显示具有DGS结构的振荡器与没有DGS结构的振荡器相比,相位噪声降低4～6dB,输出功率增加0.8dBm.研究结果表明DGS结构嵌入到振荡器的谐振电路和输出端时,振荡器的相位噪声降低且输出功率增大.     

一种采用新型复合沟道GaN HEMTs低噪声分布式放大器

设计研制了一种新型的低噪声分布式放大器,采用了栅长为1μm的低噪声复合沟道Al0.3Ga0.7N/Al0.05Ga0.95N/GaN HEMT(CC-HEMT).给出了低噪声分布式放大器的仿真和测试结果.测试结果显示低噪声分布式放大器在2～10GHz频率范围内,输入和输出端口驻波比均小于2.0,相关增益大于7.0dB.带内增益波纹小于1d8.在2～6GHz频率范围内,噪声系数小于5dB;在2～10GHz频率范围内,噪声系数小于6.5dB;测试结果与仿真结果较吻合.     

热湿气候区超低能耗海岛建筑热工设计

热湿地区海岛远离大陆,全年气候潮湿炎热,常规能源匮乏。介绍了在热湿地区海岛设计建造以太阳能光伏驱动空调系统为主的超低能耗建筑的基本思路、"逆向设计"技术路线和设计计算方法,给出了热湿地区海岛超低能耗建筑防热设计的原则和超低空调运行能耗实现的"准则",并以一栋常见的四层办公建筑为例进行了演算。该方法已经应用于热湿地区部分海岛建筑设计中,取得了良好效果,未来可大规模推广。     

膜隔离浆体泵泵组效率的测定

提出了一种在不停产的情况下通过测定水泵、油泵电机的电流和电压以及排浆流量和压力,从而计算膜隔离泵泵组效率的方法。     

浅埋大跨隧道的地表沉降观测设计与应用

隧道现场施工监测贯穿于隧道施工的全过程，通过监控量测实现动态反馈设计与信息化施工，结合茅山东隧道新奥法施工，介绍了浅埋大跨隧道的地表沉降观测方法与基本要求，并通过数据分析来指导隧道的安全施工。     

隔膜式浆体泵系统实验模型的建立与动态特性理论分析

叙述了隔膜式浆体泵实验室试验的方法与结果，建立了以清水泵流量为输入、以隔膜运动速度为输出的数学模型，并从系统的动态特性研究入手，讨论了结构参数对泵的隔离效果和系统性能的影响。     

大型水电工程水库新增影响区处理实践与探索

大型水电工程新增影响区处理具有普遍性和急迫性，对其进行研究和探索具有理论和现实双重意义。2012年锦屏一级水电站蓄水以来，已开展五期新增影响区移民安置工作，积累了大量的经验和教训，其工作经验被广泛借鉴和运用。研究以锦屏一级水电站作为典型案例，全面梳理了锦屏一级水电站蓄水后新增影响区处理过程中存在的主要问题和经验教训，结合工作实践提出了处理原则和措施，呈现了最终实施结果，以期为后续其他大型水电工程新增影响区处理提供方案参考。