清除高剂量离子注入中产生的表面沾污

采用Auger电子分光镜(AES)检测由高剂量离子注入产生的硅上表面沾污层。纵向剖面分析证明当在注入机靶室的真空系统中用普通扩散泵油,Si~ 或BF_2~ 的高剂量注入导致～100A厚的碳质表面层。注入机剩余真空的碳氢化合物的物理吸附以及辐照感应聚合反应是形成这种沾污层的最大原因。在重注入硅中经常观察到这种沾污层可引起非均匀腐蚀特性和非欧姆接触结构。用有机溶剂清洗或过氧化物清洗溶液,在550℃下退火100分钟,并按势垒层剥除工艺估计阳极氧化及HF解吸作用。只发现HF解吸和阳极氧化对完全清除聚合层有效。实质上,用过氟化聚醚油替换靶室真空系统中的普通扩散泵油清除沾污。最近几年,在制造双极晶体管,FET源和漏区以及在其它各种应用中,对用高剂量离子注入工艺的要求日益增长。然而,已知离子束感应吸附的碳氢化合物聚合,导致在离子注入的样品(1.2)上形成碳化表面沾污层。注入机的剩余真空是碳氢分子的主要来源。沾污层的厚度随剂量的增加而增长,所以,重注入Si呈现出可注意到的沾污问题,反冲碳可产生结构上损伤浅P—n结的反相电流,并在注入退火后形成硅碳化物。为了更好的了解这种沾污问题并阐明解决方法,使用Auger电子分光镜(AES)检查在各种注入条件下制备的高剂量注入的硅表面层。估计了各种表面层的剥离技术,也分析了注入机真空系统中的注入温度效应和扩散泵油的种类。最后,估计化学腐蚀和欧姆按触结构对表面沾污的效应。     

静态试验期间航天飞机固体火箭助推器发动机的低频结构动力学

在航天飞机固体火箭助推器发动机静态试验期间,在测到的推力中有低频脉动现象出现。可以认为测到的这些推力脉动与燃烧室内的压力脉动有关,但这种推力脉动要比仅从内弹道学观点来考虑由观察到的压力脉动直接引起的推力脉动大得多。本文介绍模拟试验台上发动机用的数学模型的研制情况,还介绍了燃烧室小振幅压力脉动对所测得推力影响的分析研究。     

CCD像传感器和机器人视觉

机器人在工业领域找到广泛应用之前,有几个技术问题必须提出来。主要问题包括动力学和力学、控制系统、内部模式、编程序方法、机动性、接口以及社会经济意义等。机动性是使机器人发挥最大潜力的关键一步。当前,几乎所有的机器     

沉积岩中铀石的相继吸附-还原机制成因

铀石是美国科罗拉多高原Henry山脉成矿带中Tony M矿山的板状钒铀矿的主要矿石矿物。铀矿体形成于含铀酰离子的大气降水和局部具还原性的盐水溶液这两种密度相异的溶液界面上,产在这种不同溶液界面的铀矿化是通过碎屑矿物表面的吸附作用来实现的。吸附作用与这两种不同溶液的pE值差有关。新的实验证据表明这种吸附有利于铀还原为四价铀。这种被吸附还原的铀与矿带中水溶氧化硅结合形成铀石。有证据表明,这种氧化硅高度富集于成矿溶液中,并且以单体氧化硅为其主要形式,从而保证铀石的稳定性高于晶质铀矿。     

REHEATING TEMPERATURE CONTRAST AND MICROSTRUCTURES OF 7075 Al ALLOY CAST BY LIQUIDUS SEMI-CONTINUOUS CASTING

In this study, reheating of liquidus semi-continuous cast billets of 7075 Al alloy was carried out in a resistance furnace, and the temperature contrast of the outer and the center of the reheated billets was investigated, then the reheating microstructures were investigated. Results show that: the difference of temperature between the outer and center is small and the difference of their microstructures are also small. During reheating at 576℃ the spheroidization of grains is significant after 5min and no rosettes are visible after 20min by optical microscopy. Similar observations were madeon materials reheated at 596℃, but the ripening process is faster. The grains growup to 30-60μm, fine enough for thixoforming.     

开采稠油并原地提高原油品位的新技术

THAI（“Toe-to-Heel”Air Inuection）水平注空气技术是一项重力辅助的火烧油层工艺。它结合了水平井先进技术以获得潜在的、极高的稠油采收率；通过热裂化实现原地提高原油品位、开采出改质的原油。该工艺利用重力稳定性原理限制向狭窄的可流动区域泄油，这样就可以使已经处于流动状态的流体直接进入了生产井的裸露井段。该工艺可用于一次采油、作为现代技术的配套技术或作为热效率要求高的工艺的配套工艺。该技术能够凝聚能量，使原油在油藏中流动、采出和热力升级。THAI中还结合了清洁技术。因此，该技术为稠油工业提供一条新的、成功的路。     

~(131)I-Lym-2单克隆抗体实验研究

不同浓度的~(131)I-Lym-2 MoAb与ARH-77和CEM细胞进行结合试验,结果表明:随浓度增大,结合值均升高;实验组裸鼠模型9只获得动力学数据。实验组和对照组注射~(131)I-Lym-2 MoAb后144h解剖,进行生物学分布(％D/g)测定,实验组肿瘤为16.88±12.64,肌肉为0.72±0.56。结果表明,~(131)I-131-Lym-2MoAb对临床B细胞淋巴瘤的放射免疫分析、显像有良好的效果。     

20座拱坝损坏现象的探讨(下)

11采夫懒拉(Zervrella)1953—1957年间修建的坝高150m、坝顶长504m的这座等角拱坝的特点是;右岸(至少是表层)的结晶片麻岩较之左岸具有很严重的裂隙.因此.这就不仅在防渗帷幕的水泥需用量上(右岸95kg/m~2,左岸50kg/m~2),而且在地震地质测量的动态变形模量的大小上(右岸18500—27000MN/m~2,左岸45000MN/m~2)有所不同.1960年,在右岸就发现了一些坝段的灌浆接逢张开,8、9号坝段尤为严重.当水位降至 1800m及 1750m的死库容水位时,8、9号坝段不仅出现切向开裂而且出现径向位移,自1960年起,变形不断增大.这样,20年     

用过二硫酸盐氧化电位法测定人工混合物中的铀

本文讨论的对U(Ⅵ)的测定研究是基于:在酸性介质中,用金属锌将U(Ⅵ)还原成U(Ⅳ)后,再用已知浓度的过量S_2O_5~(2-)加以氧化.加入已知量的过量KBr还原未反应的S_2O_5~(2-),剩下的Br~-用Ag(I)电位滴定。计算Ag≡Br≡S_2O_8~(2-)≡U的等效量.分析了人工混合物.