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应用正硅酸乙酯(TEOS)LPCVD技术实现二氧化硅在SiC晶片表面的淀积,在一定程度上弥补了SiC氧化层过薄和PECVD二氧化硅层过于疏松的弊端。采用TEOS LPCVD技术与高温氧化技术的合理运用,既保证了氧化层介质的致密性和与SiC晶片的粘附能力,又提高了器件的电性能和成品率,同时避免了为获得一定厚度氧化层长时间高温氧化的不足。采用此技术后,SiC芯片的直流成品率得到提高,微波功率器件的对比流片结果显示微波性能也得到了明显的提升,功率增益比原工艺提高了1.5 dB左右,功率附加效率提升了近10%。 相似文献
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为避免传统的探针检测对硅通孔(TSV)造成损伤的风险,提出了一种非损伤的TSV测试方法.用TSV作为负载,通过环形振荡器测量振荡周期.TSV缺陷造成电阻电容参数的变化,导致振荡周期的变化.通过测量这些变化可以检测TSV故障,同时对TSV故障的不同位置引起的周期变化进行了研究与分析,利用最小二乘法拟合出通过周期来判断故障位置的曲线,同时提出预测模型推断故障电阻范围.测试结构是基于45 nm PTM COMS工艺的HSPICE进行设计与模拟,模拟结果表明,与同类方法相比,此方法在测试分辨故障的基础上对TSV不同位置的故障进行分析和判断,并能推断故障电阻范围. 相似文献
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This paper describes the method of built-in self-repairing of RAM on board,designs hardware circuit,and logic for the RAM's faults self-repairing system based on FPGA.The key technology is that it util... 相似文献
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Liu Ge Liu Ming Shang Liwei Tu Deyu Liu Xinghua Wang Hong Liu Jiang 《半导体学报》2009,30(9):094006-094006-4
y in air. 相似文献
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"透明海洋"开发需要为远洋检测传感器提供可持续电源,基于压电效应的振荡水柱发电原理是采集波能驱动压电功能材料形变实现能量转换,系统结构简单,稳定性好。基于线性波浪理论,建立振荡水柱(OWC)二维数值波浪水槽。流体动力学(CFD)分析结果表明,造波稳定,波浪在气室内形成的空气压强在时域上呈现一定周期性,经数据处理拟合为正弦曲线。应用ANSYS软件系统的参数化设计语言(APDL)功能开发空气驱动压电材料形变输出能量的仿真模型,分析产生电压变化特性。 相似文献
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融合EEG和MRI是同时获得高时间分辨率和高空间分辨率的脑功能成像的有效方法.在融合中必需解决电极与MRI图像的配准.有两种常见的配准方法:基准点法和表面匹配法.基准点法的主要缺陷是易受基准点的定位和测量误差的干扰,而表面匹配法的主要缺陷是需要另一套高精度的测量仪对头皮表面进行扫描.本文研究了一种加权结合基准点法和表面匹配法的方法,它不需要对头皮表面作扫描,而是利用生理基准点和电极位置进行配准.仿真结果证明了方法的有效性,且采用生理基准点和电极同时配准的新方法的效果优于用单纯基准点配准或用电极作表面匹配两种方法. 相似文献
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