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Si衬底上Ta-N/Cu薄膜性能研究 总被引:1,自引:0,他引:1
对Si衬底上Ta-N/Cu薄膜进行了电学和热学分析,结果发现500℃以下薄膜电随几乎不变,600-690℃下的退火引起的电阻率降低是由于Ta-N电阻的热氧化和Cu熔化扩散引起的,而690℃以上的电阻率增加是由于Cu引线传输能力减弱所致,为0.18μm以下的超大规模集成电路中的Cu引线和电阻薄膜的制作提供了有益的借鉴。 相似文献
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宽带的优势应包括速度和内容两方面,但目前的状况是,速度的问题已经解决,而那些传说中诱人的宽带应用却依然遥遥无期。而如果没有相应的内容服务跟上,将会大大削弱目前的市场推广力度,为了实现价值链各环节的“多赢”,服务和内容应该与网络建设同步进行,为此,天津通信提出了“多赢”,服务和内容应该与网络建设同步进行,为此,天津通信提出了“视听新干线”业务发展模式,并取得良好效果。 相似文献
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王欣 《数字社区&智能家居》2006,(4):225-226
本研究报告采用了一些最新的社会调研数据.对计算机专业人才的社会需求厦计算机专业的发展前景做了一个比较详细的阐述。 相似文献
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分析了喘振现象和其发生的原因,讨论了大功率压缩机设备变频节能和防喘振原理,研究了利用单片机为核心的补偿控制器,实现了对压缩机进行调速一旁路回流的控制摸式,并在应用中取得了良好收益。 相似文献
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中原大化集团公司尿素装置在操作上使用的是Snam公司提供的尿素操作手册 ,在运行过程中 ,发现有许多地方与实际状况出入很大 ,经过不断的总结经验 ,并在工艺操作中进行改进、优化 ,使装置达到安全、稳定、经济运行的目的。1 二氧化碳压缩机操作方式的改进二氧化碳压缩机自开车以来 ,防喘振系统一直未投用。由于Snam公司提供的防喘振曲线富裕度较大 ,操作人员对实际喘振点不清楚 ,正常生产中转速控制较高 ,操作盲目性很大 ,在 1 0 0 %负荷下 ,防喘振阀仍有 1 0 %左右的开度 ,造成蒸气消耗偏高。1 999- 0 3- 31 ,对二氧化碳压缩机各… 相似文献
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