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71.
集成电路电极布线用铝合金薄膜及其溅射靶材   总被引:4,自引:1,他引:4  
吴丽君  夏慧 《真空科学与技术》2000,20(2):111-113,125
近年来,铝合金薄膜广泛用作半导体集成电路的电极布线材料。作为制备溅射薄膜材料的铝合金靶材也获得了相应的应用。本文介绍了集成电路电极布线用铝合金薄膜及其溅射靶材的种类和性能,铝合金靶材的制备工艺以及铝合金靶材的发展趋势。  相似文献   
72.
发展中的溅射靶材   总被引:7,自引:0,他引:7  
作为制备和生产功能薄膜的方法之一,溅射法广泛应用于许多领域,它是目前备金属薄膜最常用的工艺,作为高用的靶材是一种全新的概念,随着高技术用新材料突飞猛进的发展,世界靶材的市场销售规模日益扩大,本重点介绍了靶材的发展概况,应用分类,制备工艺,技术要求以及中国靶材产业的发展前景等。  相似文献   
73.
A new approach was proposed to describe settlement behavior of an unsaturated soil with subgrade filling for high-speed railway. Firstly, based on Terzaghi consolidation theory, equations considering the variation coefficient of consolidation with void ratio and saturation for consolidation of an unsaturated soil under stage continuous loading were derived, and according to analytical solutions of equations, a formula for settlement computation under stage continuous loading was obtained. Then, combined with the width-to-height ratio of subgrade to compute ground reaction, and by means of in-situ plate loading curves, a correctional approach was presented for the analysis of nonlinear settlement of foundation. Also, the comparison between calculated and measured loadsettlement behavior for an unsaturated soil in Qingdao-Ji'nan high-speed railway was given to demonstrate the effectiveness and accuracy of the proposed approach. It can be noted that the presented solution can be used to predict the settlement of an unsaturated soil foundation under stage continuous loading in engineering design.  相似文献   
74.
在初步的业务需求形成的前提下,首先对使用UML进行系统需求分析的过程进行详细的描述,然后结合数据采集系统,探讨用UML实现面向对象的需求分析过程,建立数据采集系统的用例图、活动图、包图和类图,从而为面向对象的设计打下基础.  相似文献   
75.
针对聚氯乙烯母液水直接排放的实际情况,进行了母液水综合利用改造,将其热能用于干燥鼓风机空气的预热,回收的水用作合成炉冷却水和洗涤水槽的洗涤水,冬季可用于取暖,大大缓解了生产用水紧张的问题,为公司创造了可观的效益。  相似文献   
76.
壳体的超声表面波分选   总被引:2,自引:0,他引:2  
某批量的100mm壳体,经专项试验,发现其中少量壳体有开裂现象,经电镜观察和能谱分析,确认开裂是由于原材料中含有非金属夹杂所致,采用超声表面波探伤法,将含有非金属夹杂的壳体分选出来,完成向订货方提交合格壳体的任务。  相似文献   
77.
法布里干涉近红外光谱仪定量测定大豆、玉米主要成分   总被引:1,自引:0,他引:1  
采用Axsun近红外光谱仪采集40个大豆样品、46个玉米样品的近红外光谱,采用PLS算法分别建立大豆粗蛋白质、脂肪含量的定量校正模型和玉米粗蛋白质、脂肪、淀粉含量的定量校正模型。结果表明,大豆粗蛋白质、脂肪定量校正模型的模型维数分别为6、5,决定系数(R~2)分别为97.94%、93.66%,校正均方根误差(RMSEC)分别为0.40、0.36.交互验证均方根误差(RMSECV)分别为0.49、0.44,相对预测性能(RPD)分别为5.18、3.15;玉米粗蛋白质、脂肪和淀粉含量的定量校正模型的模型维数分别为4、4和6,R~2分别为90.15%、95.22%和87.81%,RMSEC分别为0.25、0.12和0.53.RMSECV分别为0.37、0.15和0.72,RPD分别为2.57、3.57和2.42。F检验表明,上述校正模型的预测值与化学值具有极显著的相关关系。研究结果表明,该仪器可以用于大豆、玉米主要成分定量现场快速测定。  相似文献   
78.
深基坑是一种特殊的结构工程。支护体系一般为临时支护,而且在许多情况下依靠的主要是经验,因此,工程界对其的重视还不够。而基坑工程支护体系的多样性及其功能的多样化,合理的支护体系不仅能保证施工的安全,还能缩短工期,节省资金。  相似文献   
79.
目的 通过对基体进行前处理,提高AlCrN涂层的摩擦磨损性能和切削性能.方法 采用不同前处理方法(湿喷砂、干喷砂和微粒子喷丸)对高速钢基体表面进行处理,随后沉积AlCrN涂层,利用X射线衍射以、扫描电子显微镜等仪器,以及切削试验,分析不同前处理方式对涂层组织结构、膜基结合力、表面形貌、表面粗糙度、摩擦磨损性能以及切削性...  相似文献   
80.
西南某水电站坝址区龙达沟,历史上曾多次发生泥石流,从沟内松散物源分布、成分等特征,显示该沟属暴雨型稀性泥石流。通过对该泥石流,不同降水条件下一次冲出量预测,分析了泥石流对沟口拟建尾水洞出口等工程枢纽的影响程度。  相似文献   
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