广州地铁5号线急转弯段盾构掘进及管片选型

广州地铁5号线大坦沙南-中山八站段采用盾构法施工,右线急转弯段曲率半径290m,左线210m,接近盾构的极限能力,施工困难.结合铰接装置、千斤顶、仿形刀等的应用,严格控制盾尾间隙和千斤顶行程差,考虑盾构姿态和隧道设计轴线,合理进行管片选型.并根据管片钟点特征计算管片选型导致的位置和角度改变量,明显改善了隧道工程施工质量.     

纳米光刻双光栅对准莫尔条纹分析

为了给实际的纳米光刻对准工作提供理论研究基础,主要分析推导了莫尔条纹复振幅以及光强的空间分布规律.在理论分析的基础上通过仿真,定量地确定了莫尔条纹复振幅分布的近似数学模型.分析表明,当对准光路通过掩模硅片上的两个对准标记受到两次光栅的调制并发生复杂的衍射和干涉时,将形成有规律的、呈一定周期分布的莫尔条纹.并且当两光栅周期相近时,莫尔条纹将表现为一个与两光栅周期相关的空间拍信号.在近似模型中该拍信号主要由两光栅基频的乘积调制与振幅调制信号组成.两调制信号的群峰值周期相等、与拍信号的群峰值周期一致,并且该周期相对于两光栅周期被大幅度放大,因而具有很好的位移探测灵敏度,有利于纳米级对准的实际应用.     

纳米光刻对准方法及其原理

对准技术对光刻分辨力的提高有着重要作用。45nm节点以下的光刻技术如纳米压印等,对相应的对准技术提出了更高的要求。对光刻技术发展以来主要用于接近接触式和纳米压印光刻的对准技术做总结分类,为高精度的纳米级光刻对准技术提供理论研究基础和方向。经过分析,从原理上将对准技术分为几何成像对准、波带片对准、干涉光强度对准、外差干涉对准及莫尔条纹等五种对准方法。最后结论得出基于条纹空间相位的对准方法具有最好的抗干扰能力且理论上能达到最高的对准精度,而其他基于光强的对准方法的精度更易受到工艺涂层的影响。因此,基于干涉条纹空间相位对准的方法在纳米级光刻对准中具有很好的理论前景。     

CCD生物芯片检测仪设计

生物芯片（基因芯片和蛋白芯片）是提取生物分子信息的一种新技术,主要用于检测多种基因或蛋白的表达水平,正在成为新世纪最主要的分子诊断手段。本文介绍了一种CCD生物芯片检测仪的原理、结构组成,并着重对系统设计、荧光图象的处理和检测结果的分析软件进行了讨论。     

单筋矩形截面梁正截面配筋的快速计算法

当今,科学计算器已是非常普及的运算工具,利用科学计算器,辅之以一定的计算方法,可以快速完成单筋矩形截面的钢筋混凝土受弯构件的配筋计算。为了帮助大家进一步熟练掌握这一“钢筋混凝土构件”中的重要内容,以下将介绍运用计算器进行钢筋混凝土梁正截面配筋的快速计算法,熟练掌握这一方法后,不需一纸一笔,即可快速完成单筋矩形截面钢筋混凝土梁的配筋计算。与查表法相比,速度快精度高。显然对于在实际工作中加快设计速度,以及在现场对配筋做快速核算具有实用意义。在介绍快速计算方法之前,首先回顾一下有关重要的表达式:(1)当混凝土强度等…     

亚微米i线投影曝光机曝光能量积分和快门控制系统

主要介绍了亚微米ｉ线投影曝光机上使用的曝光能量积分快门控制系统。论述了新的设计方法和工作原理,在曝光期间挡光快门旋转３６０°是本系统的一个重要特点。该系统获得了小于０．５％的控制精度。     

谈建筑工程专业的教育创新

近年来,我国大力提倡创新教育．对学生加强创新精神、创新能力和社会实践能力的培养。作为教师．必须营造良好的创新教育环境．鼓励学生敢想、敢干,培养创造性思维和创造力,培养学生的实践能力、创业能力。     

核电厂安全壳预应力锚具静载试验

核电厂安全壳大吨位预应力锚固系统是核电站安全壳施工中重要的、复杂的部分,锚具的静载锚固性能通过钢绞线—锚具组装件的静载试验来衡量。根据核电设计单位要求,核安全壳预应力锚具静载试验时应模拟实际工况,在端部增加混凝土锚固块,这与常规锚具静载试验相比,纲绞线在混凝土锚固块处产生弯折,这大大增加了试验的难度。本文介绍利用核安全壳预应力锚具模拟实际工况的静载试验,试验的成功促进了国产核电预应力锚具的应用。     

生物芯片扫描仪弱信号检测方法

弱信号检测是生物芯片扫描仪的重要组成部分,也是生物芯片技术前进过程中面临的主要困难之一,特别是在高精度快速扫描中,其检测灵敏度及响应速度对整个扫描仪的性能将产生重大影响。在比较了几种常见信号检测方法的基础上,重点介绍了荧光染料标记的激光共聚焦生物芯片扫描仪及其弱信号检测的相关问题,并简要介绍了CCD生物芯片扫描仪的特点及其信号检测的原理。     

用于MEMS加工的双面深度光刻机对准系统设计

比较了光刻机中几种常用的对准方式,并分析了其优缺点,在此基础上对双面深度光刻机底面对准系统的设计原理、结构及对准过程做了详细阐述,并进行了对准系统的精度分析,最后介绍了为系统实现所采取的其他技术措施。实践证明,该对准系统应用于深紫外双面深度光刻机中,系统运行稳定、可靠,完全能满足系统的精度要求。