双面深度光刻机控制系统设计

介绍了当今世界光刻技术的发展趋势,重点阐述了双面深度光刻机控制系统的功能、组成及各组成部分的软、硬件设计,最后简要总结了控制系统的特点。     

生物芯片扫描仪弱信号检测方法

弱信号检测是生物芯片扫描仪的重要组成部分,也是生物芯片技术前进过程中面临的主要困难之一,特别是在高精度快速扫描中,其检测灵敏度及响应速度对整个扫描仪的性能将产生重大影响。在比较了几种常见信号检测方法的基础上,重点介绍了荧光染料标记的激光共聚焦生物芯片扫描仪及其弱信号检测的相关问题,并简要介绍了CCD生物芯片扫描仪的特点及其信号检测的原理。     

用于MEMS加工的双面深度光刻机对准系统设计

比较了光刻机中几种常用的对准方式,并分析了其优缺点,在此基础上对双面深度光刻机底面对准系统的设计原理、结构及对准过程做了详细阐述,并进行了对准系统的精度分析,最后介绍了为系统实现所采取的其他技术措施。实践证明,该对准系统应用于深紫外双面深度光刻机中,系统运行稳定、可靠,完全能满足系统的精度要求。     

用于光刻投影物镜微调的压电陶瓷

为了提高大数值孔径投影物镜成像质量,需对镜片进行高精度微调.压电陶瓷是一种高精度定位的执行元件.根据电压控制型压电陶瓷驱动电源的原理,利用运算放大器PA88和OPA2227构成的高压运放式复合放大电路,设计了一种高精度的压电陶瓷驱动器,用于驱动镜片的精密微调.详细阐述了驱动器和供电电源的设计原理,并运用Multisim10软件对该驱动器的输出电压、线性度、静态纹波及稳定性进行了仿真分析.结果表明,该驱动器具有输出精度高,最大非线性误差为0.0005％,静态纹波小(±100 nV),稳定性强等优点,达到了投影物镜中镜片微调要求.     

基于FPGA的生物芯片数据采集系统

生物芯片扫描仪在进行高速高分辨率扫描时对实时性要求很高,用一般微控制器难以实现。在介绍生物芯片扫描仪工作原理的基础上,提出了一种基于FPGA控制的生物芯片数据采集系统的设计方法,使生物芯片扫描仪在5μm分辨率下扫描速度达到20线／s。     

基于细胞神经网络的生物芯片图像实时处理

运用CNN设计了一套生物芯片样点识别算法。算法实现的目标:改善已有方法的缺陷,达到良好的图像质量增强效果;将CNN输出的模拟信号图像转化为样点数据信息,使得后续的信息分析成为可能。最后利用实际CNN芯片参数估算了整套算法的运算时间,结果显示其速度达到实时处理的标准。     

嵌入式生物芯片检测分析系统设计*

提出一种嵌入式生物芯片检测分析系统设计方法。根据样点、噪声和背景特征的关系提出适合嵌入式系统的软件算法,并设计出通过CCD采集芯片图像、DSP进行图像信息处理的生物芯片检测分析系统硬件。多种生物芯片实验结果表明系统操作简便,可以稳定地对生物芯片进行自动的检测分析,对目前生物芯片检测分析系统的自动性和集成性方面有很大的提升。     

转动式拉索锚具设计

分析了中、下承式拱桥和斜拉桥断索的根本原因，针对拉索弯折疲劳断裂问题设计了四种转动式拉索锚具，详细介绍了转动式拉索锚具结构和安装。     

便携式生物芯片检测仪嵌入式系统研究

生物芯片技术的提高催生了在该产业链中扮演重要角色的生物芯片检测仪器的不断发展,本文通过分析国内外目前生物芯片检测仪的现状,指出生物芯片检测仪器的小型化、集成化、自动化将成为发展的又一新趋势。并介绍了便携式生物芯片检测仪器的软件、硬件平台构建方案,最后对本系统所使用的ATR核心算法作了简要论述和试验分析。     

核电厂安全壳预应力锚具静载试验

核电厂安全壳大吨位预应力锚固系统是核电站安全壳施工中重要的、复杂的部分,锚具的静载锚固性能通过钢绞线—锚具组装件的静载试验来衡量。根据核电设计单位要求,核安全壳预应力锚具静载试验时应模拟实际工况,在端部增加混凝土锚固块,这与常规锚具静载试验相比,纲绞线在混凝土锚固块处产生弯折,这大大增加了试验的难度。本文介绍利用核安全壳预应力锚具模拟实际工况的静载试验,试验的成功促进了国产核电预应力锚具的应用。