GaAs基通孔刻蚀的崩边形成机理研究

在砷化镓(GaAs)集成无源器件(Integrated Passive Device, IPD)的制作工艺中,通孔刻蚀是一道重要环节。蚀刻孔边缘的GaAs会被蚀刻,由此引发崩边并对器件性能及可靠性造成不利影响。本文中,用于通孔蚀刻的GaAs厚度不小于200 μm,通孔边缘没有被蚀刻的痕迹,以实现金属导线的平滑连接。采用光阻和金属来充当掩膜,有效解决了单一光阻因厚度过高而变形或者厚度薄导致GaAs衬底被蚀刻的问题。通过优化工艺,在光阻厚度为32 μm、金属掩膜厚度为0.5 μm、金属蚀刻时间为60 s以及感应耦合等离子体(Inductively Couple Plasma, ICP)蚀刻4000 s的条件下,得到了孔深为200 μm且通孔边缘平整的形貌。分析了 GaAs 崩边形成的主要原因与机理,并通过优化工艺解决了200 μm通孔的崩边问题,从而提高了器件性能及可靠性。     

基于云平台的低功耗智能家用太阳能供电系统

为了提高家庭供电系统太阳能利用率,尽可能地降低家庭用电功耗,设计了一套新型绿色环保太阳能供电系统。该系统通过太阳能光板采集能量、蓄电池储存能量,集成最大功率电追踪、逆变升压、电量检测等技术,利用云平台管理技术,针对不同的电量情况进行控制从而保障用户负载的不间断供电。用户可以在手机客户端以及PC端查看系统的工作情况,并对系统做相应的设置与控制。文章介绍了这种低成本、高可靠性、高效率、智能化的家用太阳能供电系统。     

声音与品质的融合——评日本《STEREO SOUND》音响评论家三浦孝仁、傅信幸辑录、推介的三张试音碟

三张高水准的试音碟,反映出的是两位著名音响评论家的声音观好的音响评论家推介自己得意的试音碟精选集,就好比是好的作家编选自己的文字集一样,非但精挑细选必不可少,而且还要有一分斤斤计较的苛求之心。如此,其成果才经得起挑剔的耳朵与眼光的检验。     

苏联黑色冶金矿山工业的体制改革

苏联已探明的铁矿储量(平衡表储量)为1120亿吨。1980年生产原矿4.967亿吨,相当于当年世界铁矿石总产量的26％以上。两者均居世界首位。采出的原矿有85.5％需要选矿。地下开采的矿石质量比露天开采的高。1980年开采的原矿平均品位为34.7％,露天开采的原矿     

努力挖掘黑色冶金矿山工业的生产潜力

苏共二十六大和随后几届中央全会的决议,向苏联黑色冶金工业部矿山工业部门的广大劳动群众,就进一步挖掘本部门的生产潜力,保障黑色冶金所需各种矿物原料,提出了极其艰巨的任务。第十一个五年计划的头两年,由于建设     

级联准∧-型四能级系统电磁诱导透明特性

双场作用下的∧-型三能级系统是研究电磁诱导透明（EIT）的基本模型，在此基础上，引入强微波驱动场作用于该系统的激发态能级与另一激发态能级间，就构成了三场作用下的级联准∧-型四能级系统．通过求解系统的密度矩阵方程，分别研究了耦合场和微波驱动场对系统吸收特性的影响。在耦合场和微波驱动场共同作用下，系统的探测吸收谱呈现为Autler—Townes双峰与EIT的叠加，可以用缀饰态理论对此做出合理解释．研究结果表明，Autler—Townes双吸收峰来自于强微波场与系统的相互作用，EIT来源于耦合场与系统的量子相干相互作用。     

有线电视宽带网边界路由系统安全技术研究

提出在当今有线电视宽带网络环境下,从构建安全的边界路由系统出发,研究在边界路由器上采取针对有线电视宽带网内部网络的报文过滤和针对路由系统本身的安全策略,并在某有线电视宽带网络中进行了典型应用,实践证明可以达到事半功倍的网络安全目的.     

铁通试水无线宽带

为进一步提高既有资源利用率和效益产出率，满足更多用户的需求，新疆巴州铁通在和硕县开始尝试发展无线宽带服务业务。     

小型LD 脉冲激光测距仪的人眼安全控制

小型脉冲半导体激光测距仪使用的激光波长处于非人眼安全的波段如905nm ,要保证 测距仪的辐射安全性必须控制激光发射参数。在设计高精度远距离半导体激光测距仪的过程中,必须提高激光发射功率和频率。本文讨论了在设计过程中,满足激光辐射安全国标的最佳激光发射参数。