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热释电薄膜在红外探测器中的应用 总被引:4,自引:2,他引:2
介绍了热释电效应及热释电薄膜红外探测器的工作模式,特别是探测器单元对热释电薄膜的材料与低温生长要求。为了克服薄膜生长过程中较高的基片温度对读出集成电路(ROIC)的破坏性影响,一方面发展了离子束辅助沉积、外延缓冲层等多种低温生长技术,另一方面发展了复合探测器结构设计。已研制出了性能良好的铁电薄膜非制冷红外焦平面阵列,其噪声等效温差(NEDT)可达20mK。 相似文献
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采用倒筒式射频溅射方法,在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备了Ba0.65Sr0.35TiO3(简称BST)薄膜.研究了自偏压对BST薄膜结构及电学性能的影响.在较高自偏压下制备的BST薄膜具有高度的(100)择优取向,且结晶性好,表面平整,耐压能力强.在25℃时薄膜的热释电系数高达6.73×10-7C/(cm2·K).红外单元探测器在30Hz下的探测率D*为4.93×107cm*Hz1/2/W.研究结果表明,利用倒筒式射频溅射方法,适当提高自偏压,可以制备出热释电性能优良的BST薄膜. 相似文献
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64.
高热密度通信机房的空调解决方案 总被引:1,自引:0,他引:1
针对通信机房建设中的高热密度问题,结合国内外经验,提出优化的空调解决方案。 相似文献
65.
霍林河一号露天矿煤层赋存条件复杂,采煤需要选采,剥离须穿孔爆破破碎排弃,为了简化采煤、剥离工作面作业环节,降低运营成本,对露天采矿机工艺在霍林河一号露天矿采煤及剥离工程中应用的可行性进行研究。 相似文献
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