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为了满足空间衍射成像系统对大口径、轻量化衍射元件的需求,设计制作了直径为400mm的聚酰亚胺(PI)薄膜菲涅尔衍射元件。通过紫外光刻、离子束刻蚀等微细加工方法在石英基底上制作衍射图形,然后将衍射图形复制到PI薄膜上得到菲涅尔衍射型薄膜元件。结合有限元法探究了薄膜复制过程中热应力的变化规律及降低热应力的方法,分析了影响薄膜衍射效率的因素及薄膜制作误差、温度变化对薄膜成像的影响,最终实现了大面积薄膜与基底的分离,并通过局部氧气等离子体轰击提高了薄膜衍射效率的均匀性。经测试,薄膜菲涅尔衍射元件的厚度约为20μm,在波长633nm处的实际衍射效率平均值为33.14%,达到了理论效率的81.83%,衍射效率的均方根值RMS=0.01。实验结果表明,通过紫外光刻、离子束刻蚀和薄膜复制的方法可以得到大口径、高衍射效率的薄膜菲涅尔衍射元件。 相似文献
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肯斯瓦特水利枢纽工程具有地震烈度高、岸坡陡峻、筑坝材料特殊等特点。肯斯瓦特大坝全断面采用砂砾石填筑。介绍了该混凝土面板坝的坝体分区、坝料设计、面板设计、趾板结构设计等,为高寒和高地震烈度区修建混凝土面板砂砾石坝积累了经验。 相似文献
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就良友富临大酒店楼顶巨型广告支架的设计,介绍了高层建筑物上广告架的结构设计方法,并对结构和材料选择,型钢截面的选择等方面进行了分析.本设计应用"喜利得固定螺栓"技术解决了广告支架与原建筑物屋顶连接的问题. 相似文献