SiCl4/H2辉光放电等离子体中电子特性的在线检测

SiCl4/H2混合气体被公认为低温沉积纳米晶以及多晶硅薄膜最具潜力的气源之一.首次利用加热可调谐Langmuir探针对等离子体增强化学气相沉积系统中的SiCl4/H2放电等离子体的电子浓度和电子平均能量进行了在线检测,并分析了电子特性随系统各参数:气体压强、射频功率及氢稀释度RH的变化规律.实验结果表明:随着气体压强的升高,电子浓度不断增大而电子平均能量不断减小;增大射频功率或减小氢稀释度RH,电子浓度和电子平均能量都相应增大.此外,并对实验结果进行了定性或半定量分析.本研究工作将有助于更好地理解SiCl4/H2放电机理,改善并优化沉积优质多晶硅薄膜的工艺参数.     

控制流均化库卸料程序的设计及优化

<正>由于控制流均化库(TP-3)是平底库,便于土建施工,而且控制流在库内依靠充气和重力卸料,物料在库内实现轴向及径向混合均化,均化效果要优于多料流均化库(TP-2)型均化库,因此天津院着手开发控制流均化库。设计的首个控制流生料均化库自2008年12月份投产应用以来,已有几十条生产线应用此型均化库。但由于生料控制程序的原因,造成使用该库后出库生料Ca O标准偏差加大。为发挥出该库应有     

基于特钢多规格小批量的智能燃烧控制应用

加热炉是轧钢行业中非常关键的设备之一,它的控制目标是在满足轧机开轧所需要的钢坯温度分布的条件下,实现最小的钢坯表面烧损和能耗的经济指标.智能燃烧控制系统采用空燃比双交叉限幅控制、模糊控制等原理和理论,控制加热炉在最佳燃烧方式下进行燃烧.在特钢多规格小批量生产环境下,加热炉内推行智能燃烧控制系统,可以提高坯料加热质量,使...     

为什么“海归”成了“祥林嫂”

同学是个“海归”，在外漂泊10多年，去年底举家迁居北京。今年初，“海归”买房了，这着实让他郁闷了一阵：抛掉靠近旧金山的一栋别墅，只能换回三环内一套百余平米的公寓房，而且还是二手房。     

何谓“二百五”

当入办事不规矩、不地道、不合适、不爽快时，常被嗔之为“二百五”：当人理解问题不到位、处理事情不妥当，常会被讽之“二百五”；当人怪里怪气、傻傻乎乎、愣头愣脑、少学无识时，常被喻之“二百五”；当断不断，当做不做，哪壶不开提哪壶时，常被人骂之“二百五”。     

计算空间曲面顶点法向量的方法

在处理三维物体表面光照时,通常都需要计算空间曲面各顶点的法向量。本文针对三角形网格表示的空间曲面,设计了一种计算空间曲面顶点法向量的算法。并且根据上述空间曲面顶点法向量的算法,利用高程场的特性,推导出一种计算高程场顶点法向量的快速算法。     

浅谈水利工程施工资料整编及工程验收

为进一步规范水利工程施工质量评定工作,不断提高水利工程施工质量,笔者在实际工作过程中积累了一些经验。水利工程大多数在野外施工,有些工程并不是我们想的那么规范,长期以来水利工程验收首先单位工程交工验收可由业主主持,业土也可以委托监理单位主持,业主也可根据工程实际情况决定。分部（分项）工程验收是工程最基本的验收,搞好分部（分项）工程竣工资料整编则是确保分部（分项）工程验收的关键。工程竣工验收有业主主持,竣工验收工程全部按合同目标完成,也包括工程决算完成才能进行合同项目竣工验收。