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71.
用于铜的化学机械抛光液的研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
文中介绍了一种以碱性抛光液对铜进行全局平面化的方法 ,讨论了以 Si O2 水溶胶为磨料的抛光液在Cu-CMP过程中的化学 (络合 )作用及反应机理 ,并给出了抛光液的配比及上机实验结果。结果表明 :该抛光液用于对带有阻挡层和介质层的铜抛光 ,达到了对铜层的高去除速率和高选择比 ,取得了较好的全局平面化效果  相似文献   
72.
73.
一、前言: 水源污染对人们的生产生活及健康状况已造成巨大的威胁。采用传统的沉淀-过滤净水工艺,对水中的污染物,尤其是溶解性的有机污染物的去除已不能满足处理要求。因此,从六十年代开始,美国、西欧、日本等地广泛开展了饮用水除污染新技术的试验研  相似文献   
74.
用单片机产生有限带宽伪随机信号   总被引:3,自引:0,他引:3  
由线性反馈移位寄存器产生出周期为p=2^11-1的伪随机白噪声,利用快速傅里叶变换及其逆变换去除了其中低于350Hz和高于550Hz的分量,获得带宽在350-550Hz之间的伪随机信号。  相似文献   
75.
《PTC技术交流会暨通信设备过电流保护用PTC热敏电阻行业标准预审会》报导广东省邮电科学研究所于1994年10月10~15日在深圳市主持召开了《PTC技术交流会暨通信设备过电流保护用PTC热敏电阻行业标准预审会》,会议收到论文9篇,国内外专家及相关人...  相似文献   
76.
77.
徐海平 《自动化仪表》1991,12(10):13-16
介绍了DHC型微机核子秤的软件设计方法。该产品采用IBM-PC/XT作为主机系统,配上软件后具有实时数据采集、处理、显示、打印的功能。它还集成了一个数据库管理软件包,能向用户提供检索历史数据、修改记录及打印报表的功能。  相似文献   
78.
随流孕育是铸态球铁生产中极重要的一环。国外已就随流孕育剂作了大量的研究,研制出适合不同情况下使用的孕育剂品种。本文就高效复合孕育剂SRCB生产铸态铁索体球铁件中的作用作一些探讨。我厂属大量流水线生产,球铁件均进行随流孕育。孕育设备为螺旋给料器,孕育剂加入量为0.15%,孕育剂成分(%)为:St55~65,REI~4,Ca3~8,助熔剂10%左右,余为铁。经过近三年的应用,情况良好。1.SRCB孕育剂和75SIFe对比试验我们在处理同一包铁水时(800k8)分别用SRCB和75SIFe作随流孕育,浇注阶梯试决(见图1)及机械性能试块,对…  相似文献   
79.
80.
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