PSG低压CVD装置

<正> 使用扩散炉采取低压方法的 CVD 技术与以往常压方法相比,在大直径硅片的装片容量和生长膜的均匀性方面都有提高,对高密度高质量的超大规模集成电路的研制会有很大贡献。表1列出的数据是目前半导体制造工艺采用低压 CVD 装置获得的。但是关于器件工艺中的扩散源、铝布线后的钝化以及多层金属布线的绝缘膜等方面最为需要的低温磷硅玻璃(PSG)膜的生长技术,膜厚及磷浓度(方块电阻)分布的控制是困难的,     

淀粉接枝共聚物的合成及在金属缓蚀方面的研究进展

介绍了淀粉接枝共聚物合成中的引发体系,根据将淀粉引发为自由基的方法不同,可以分为物理引发法和化学引发法,总结了各方法的优缺点;在应用方面,着重阐述了其在对金属缓蚀方面的研究新进展,并对未来的发展进行了展望。     

全过程内涝防治体系视角下的城市内涝风险评估研究

城市内涝风险评估是指将城市内涝风险性质和程度进行定性或定量评估的工作。全过程内涝防治体系包括以源头减排能力、排水设施能力、蓄排能力为主的内涝治理工程体系和以监测预警、应急管理、体制机制为主的内涝治理保障体系。本研究提出一种城市内涝风险评估方法,即对全过程内涝防治体系进行评估,判断城市是否满足内涝防治标准的要求,对于不满足内涝防治标准要求的城市,根据内涝风险等级和地区重要性形成城市内涝风险评估结果。该方法可以推进城市内涝灾害治理工作的有序进行,为城市内涝风险评估和内涝风险区划定提供技术支撑。     

莒县面源污染估算分析和治理对策

利用排污系数法对莒县农业面源、城市面源的主要污染物排放量进行估算,筛选出影响面源污染的4个主要因子（COD、氨氮、TP、TN）,分析了面源污染的最大污染源与最大污染因子,并提出了相关治理对策,为莒县面源污染整治工作提供参考。     

基于响应面法优化混凝效果及其机理研究

为了考察pH值、混凝剂与助凝剂投量、搅拌强度和絮凝时间等因素对混凝过程的综合影响,以硫酸铝作为混凝剂,PAM作为助凝剂对高岭土原水进行处理,以浊度、絮体平均粒径及分形维度作为响应值,采用响应面法对混凝条件进行优化并对混凝机理进行分析,最终建立了包括所有参数在内的回归模型方程。结果表明,当原水浊度为95.47 NTU时,在pH值为8.00、硫酸铝投量为21.47 mg/L、PAM投量为5.75 mg/L,搅拌强度为31.41 r/min,絮凝时间为19.37 min条件下,浊度去除率为87.42%,混凝效果极好。对建立的回归模型方程进行求导分析,得到不同因素对混凝效果的影响权重,发现投药量(助凝剂、混凝剂)和pH值对混凝效果的影响最为显著,对絮体的形态结构起决定作用;搅拌强度、絮凝时间等工况影响絮体形成速率和最终形态,对混凝效果影响较小。在最优条件下进行3组平行实验,实际浊度与预测值的相对误差为2.66%,表明该模型对实际工程中优化工况以强化混凝效果具有指导作用。     

卡普兰水轮机在正吸出高度运行的研究

无论是日本国内还是国外,旧水电站的更新已成为大势所趋。更新时,为了减少土木工程费用,常原封不动地留用原建的输水管道和尾水管。并且,为进一步增加年发电量,多用卡普兰水轮机或斜流转浆式水轮     

南水北调西线工程与后续水源

编者按南水北调西线工程，是从长江上游调水至黄河上游的跨流域调水工程，是补充黄河水资源的不足、解决我国西北地区干旱缺水问题的重大战略措施。南水北调西线工程的研究由来已久，早在１９５２年，黄河水利委员会就组织查勘了通天河引水入黄河的线路，断断续续，迄今已...     

柴北缘鄂博梁构造带油气成藏条件及勘探部署

柴达木盆地北缘鄂博梁构造带由鄂博梁Ⅰ号、鄂博梁Ⅱ号、鄂博梁Ⅲ号和葫芦山4个地面构造组成。近期的综合研究和老井复查表明:该区带具有优越的天然气成藏条件:位于侏罗系生气凹陷之内、发育大型构造圈闭、具有优质储层和良好储盖组合以及深大断裂沟通气源,发育源内和源上两种成藏模式。近期,邻近的牛东构造获得重大突破,其他构造已钻井都有气显示,并且鄂7井获得工业气流。在成藏条件和目前勘探现状综合分析的基础上,提出该区优先风险钻探鄂博梁Ⅰ号构造;积极准备其他构造,其中以开展精细地震勘探鄂博梁Ⅲ号构造为重点,精细落实圈闭后投入勘探。     

新颖的含PFC的PWM ZVX AC—DC变换器

提出了一种新的具有功率因数补偿（ＰＦＣ）功能的零电压开关（ＺＶＳ）ＡＣ－ＤＣ变换器基于不连续导电模式（ＤＣＭ）下的Ｂｏｏｓｔ环节实现ＰＦＣ功能,但其具有ＺＶＳ机制从而解决了ＤＣＭ下因开关关断大的峰值电流引起的关断同、ＥＭＩ严重的问题,同时还消除了由于开关的寄生电容引起的开通损耗,该变换器可以采用通用控制芯片并工作在ＰＷＭ模式,文中分析了提出变换器的工作原理,并给出了基本设计原则,模拟和实验结果证明     

光纤包层中的弱光探测技术

设计了一种用于探测光纤激光器系统中有源光纤中残余的弱泵浦光的方法。采用两种光纤探针对剥离涂覆层的有源光纤以及保留涂覆层的光纤进行了包层泄漏光的测试,优选出锥形探针作为弱光探测的光纤探针,并用该探针测得泄漏光与包层残余泵浦光的功率关系,发现二者呈线性关系并有对应的比例系数。通过该光纤探针的方法可实现快速确定有源光纤在激光器中的使用最佳长度,避免传统方法中对有源光纤进行多次切割、熔接再测试等操作,极大地提高了测试效率并降低了测试成本。试验同时发现,光纤探针在剥离涂覆层光纤上的探测效果优于未剥离涂覆层的光纤探测效果。