基于稳定固溶体团簇模型的无扩散阻挡Cu合金薄膜的成分设计

随着超大规模集成电路的发展,器件特征尺寸不断缩小,必然会出现Cu互连扩散阻挡层厚度无法进一步减小等瓶颈问题。因此,开发新型无扩散阻挡层Cu合金薄膜(Cu种籽层)势在必行。该新型互连结构在长时间的中高温(400~500℃)后续工艺实施过程中,需同时具备高的稳定性(不发生互扩散反应)和低的电阻率。基于此,首先综述了目前无扩散阻挡层结构的研究现状及问题,然后对基于稳定固溶体团簇模型设计制备的无扩散阻挡Cu-Ni-M薄膜的研究工作进行了梳理,通过多系列薄膜微观结构、电阻率及稳定性的对比,深入探讨了第三组元M的选择原则及其对薄膜热稳定性的影响。为进一步验证稳定固溶体团簇模型的有效性,对第二组元的变化进行了相关讨论。结果证实,选取原子半径略大于Cu、难扩散且难溶的元素作为第三组元M,薄膜表现出良好的扩散阻挡能力;当M/Ni=1/12,即合金元素完全以团簇形式固溶于Cu基体时,薄膜综合性能达到最优,能够满足微电子行业的要求。所有研究表明,稳定固溶体团簇模型在无扩散阻挡层Cu合金薄膜的成分设计方面十分有效,该模型也有望在耐高温Cu合金及抗辐照材料成分设计方面推广使用。     

核燃料用γ-U合金的成分规律

铀合金作为一种重要核燃料,其体心立方结构的高温稳定的γ-U合金具有较好的综合性能,是合金设计所追求的目标。本文引入描述稳定固溶体结构的"团簇加连接原子"模型,用于建立γ-U固溶体合金的结构模型和相应成分式,指出其结构单元为体心立方第一近邻配位多面体团簇加3个连接原子构成。进而利用该结构单元对现有合金成分进行了解析,能够稳定形成体心立方bcc结构的合金均满足上述模型,如[Mo-U14]Mo3(U-10.7Mo),[Zr-U14]Nb3(U-7.5Nb-2.5Zr,即不锈铀)等,这些合金实际上均在各自体系中具有最优良的结构稳定性,显示出优异的耐蚀性。本文证实,基于团簇加连接原子模型的成分设计方法在预测γ-U合金成分与性能上具有重要指导价值。     

秦巴不同生态区烤烟基因表达谱分析

为了揭示不同生态区烤烟风格特色形成的机理,采用Agilent 烟草寡聚芯片技术,对商洛市洛南县和宝鸡市陇县(对照)两个生态区烤烟打顶后15 d 同一品种(秦烟96)中部叶的基因表达谱进行了初步分析。结果表明:与陇县相比,在44 000 个基因中洛南烟区烟叶有2 058 个基因差异表达,其中上调基因962 个,占46.74%;下调基因1 096 个,占53.26%。按功能富集分类,这些差异基因主要富集在代谢、响应外界刺激及生理调控等生物学过程,大部分位于胞外区与细胞内膜系统。其中洛南烟区碳水化合物合成代谢较为活跃,陇县烟区萜类化合物代谢、苯丙烷代谢、芳香族化合物合成代谢较为活跃。基因代谢通路分析表明,细胞信号转导、转录因子及参与植物非生物胁迫相关基因在两个烟草种植区均为高表达。      

变频器在循环水冷却装置中的应用

以安塞油田王南轻烃厂为例,介绍轻烃回收装置的水循环冷却系统加装变频控制系统进行优化、调试的方法及最终成果.     

铝合金热轧变形抗力模型的试验研究

主要介绍用Gleeble-1500热模拟试验机测定铝合金材料7075热变形抗力的试验方法,分析不同应变速度和不同温度的流变应力曲线所显示的材料组织性能,总结出适合铝合金7075热轧的分段周纪华变形抗力模型,通过拟合曲线与实测数据的比较,证明拟合出的分段周纪华变形抗力模型能准确地反映7075的热变形抗力,适用于铝合金热轧轧制力的计算。     

滚轮滑座式热锯机结构分析

介绍滚轮滑座式热锯机的结构特点,基本参数确定规则及力能参数的计算方法,指出进一步提高热锯机效能应采取的措施。     

氮磷膨胀型阻燃剂对皮革阻燃性的影响

施加不同用量的氮磷系膨胀型阻燃剂(0%、2%、4%、6%、8%)于皮革加脂工序,研究其对皮革阻燃性能的影响。通过测定其湿热稳定性、干热稳定性、成炭性、热性能、垂直燃烧、烟密度及氧指数比较其不同添加量对皮革性能的影响。试验发现,氮磷系膨胀型阻燃剂施加量为6%时,所得皮革的抗燃性最好。     

虚拟人群仿真的路径规划新算法

提出了一种用于虚拟人群仿真的路径规划新算法.该算法由全局路径规划模块和局部避碰模块组成.全局路径规划模块利用具有最短距离约束的Delaunay三角形方法分割虚拟环境,并由具有距离信息的单元入口图进行表示;局部避碰模块利用相互速度障碍物方法,并加入了停止规则.实验结果表明:通过对具有距离信息的单元入口图的遍历可获得并存储具有最短距离值的路径,个体通过查询该图即可获得有效全局疏散路径从而实现全局导航;相互速度障碍物方法实现了虚拟人之间,虚拟人与静态障碍物之间的避碰,而停止规则的运用彻底消除了抖动现象.该路径规划新算法实时模拟了人群疏散的运动过程,较真实地再现了疏散特性.     

基底温度对反应磁控溅射氮化铝薄膜的影响

采用反应磁控溅射法结合加热控温电源,在光学玻璃基底上制备氮化铝(AlN)薄膜,通过X射线衍射(XRD)技术对薄膜样品物相结构进行分析,利用纳米压痕仪测试薄膜样品的硬度及弹性模量,用椭圆偏振仪及光栅光谱仪测试了薄膜样品的光学性能,分析和研究了基底温度对AlN薄膜的结构及性能的影响.结果表明,用此方法获得的AlN薄膜呈晶态,属于六方晶系,温度对AlN(100)面衍射峰强度影响不大,但对(110)面衍射峰的影响较大,因而温度对AlN的择优取向有一定影响.AlN(100)峰半高宽随温度升高而减小,表明晶粒尺寸随温度升高有变大趋势.随沉积温度升高,薄膜硬度从150℃的8 GPa增加到350℃的10 GPa左右,随基底温度升高,薄膜的硬度增加.弹性模量随温度的变化趋势与硬度的基本一致.在可见光区域AlN薄膜透过率超过90％,基本属于透明膜.基底温度对薄膜折射率也有较明显影响,折射率大致随温度升高而增大,但由椭偏测试及透射谱线分析得到的厚度结果表明,随温度升高,AlN薄膜的沉积速率下降.     

甲醇装置转化炉前补碳技术研究

以大庆油田甲醇分公司的1套甲醇装置为例,阐述了转化炉前补碳技术的化学反应原理、甲醇合成反应过程及需要解决的关键技术,并对该方案的优势、工艺特点等进行了分析。经过实际运行,装置生产负荷由原来的11 454 Nm3/h降至9800 Nm3/h,粗醇产量由原来的396 t/d提高到415 t/d,运行效果很好。