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101.
102.
杨德仁 《深圳大学学报(理工版)》2007,24(4):393-398
基于对象、属性、类及其之间的4个主要关系,即实例关系、属关系、抽象关系和区分关系,提出一种本体三角形模型.该模型符合人的抽象思维过程,其核心机制是抽象原理.采用一阶逻辑等值演算形式化定义该模型结构,根据实体及其关系分析其约束机制,论述相应公理,解释一些重要推论.这种形式化本体理论系统描述了分类学,为实现本体框架奠定了基础,可用于实现知识推理. 相似文献
103.
104.
利用扫描隧道显微镜和超高真空实验装置系统进行了Si(10 0 )表面生长Si,Ge的实验研究。分析了所生成表面的形貌、结构等物理性质。研究表明 :Si在Si(10 0 )表面的同质生长可以形成纳米结构薄膜。Ge在Si(10 0 )表面生长形成规则的三维小岛。而在Si/Ge/Si(10 0 )多层膜上生长则形成大小二种三维岛。研究表明大岛具有Ge/Si/Ge的壳层结构 相似文献
106.
杨德仁 《材料科学与工程学报》1998,(1)
金属镍是大规模集成电路中常被发现的杂质,它的沉淀严重影响着集成电路的性能。本文阐述了在集成电路工艺中镍沾污的可能途径,镍在硅中的基本性质,说明了镍的沉淀性质和与硅材料扩散长度的关系,也说明了镍沉淀的稳定性。 相似文献
107.
杨德仁 《材料科学与工程学报》1990,(2)
随着大规模集成电路的发展,氧沉淀对硅片的机械性能和器件的电学性能,有着越来越重要的影响。本文就氧沉淀的影响因素,沉淀的数目、速率、形态、形核和长大机理,碳及其它杂质原子对氧沉淀的作用等方面的研究近况作一综合介绍。 相似文献
108.
109.
110.
重掺杂直拉硅单晶氧沉淀及其诱生二次缺陷 总被引:1,自引:1,他引:0
研究了重掺杂直拉硅单晶中掺杂元素硼、磷、砷、锑对氧沉淀及其诱生二次缺陷行为的影响 .实验结果表明 :重掺p型 (硼 )硅片氧沉淀被促进 ,氧沉淀密度高但无诱生二次缺陷 ;重掺n型 (磷、砷、锑 )硅片氧沉淀受抑制 ,氧沉淀密度低却诱生出层错 ;不同掺杂元素及浓度对重掺n型硅片氧沉淀抑制程度不同 ,并对氧沉淀诱生层错的形态产生影响 .讨论了重掺硅单晶中掺杂元素影响氧沉淀及其诱生二次缺陷的机理 ,并利用掺杂元素 本征点缺陷作用模型和原子半径效应模型对实验结果进行了解释 . 相似文献