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利用Ar/BCl3、Cl2/BCl3和SF6/BCl3感应耦合等离子体(ICP),研究了蓝宝石(Al2O3)材料的干法刻蚀特性.实验表明,优化BCl3含量(80%),可以提高对Al2O3衬底的刻蚀速率;在BCl3刻蚀气体中加入20%的Ar气可以在高刻蚀速率下同时获得优于未刻蚀Al2O3衬底表面的光滑刻蚀表面和较好的刻蚀侧壁,原子力显微镜(AFM)分析得到最优刻蚀平整度为0.039 nm,俄歇电子能谱(AES)分析其归一化Al/O原子比为0.94. 相似文献
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Nickel and sulfate co-modified CeO2-ZrO2 catalysts were prepared by sol-gel method. The catalysts were characterized by XRD, FTIR, XPS, NH3 chemisorption and NH3-SCR activity tests. The results showed that the enhanced acidity of CeO2-ZrO2 catalysts by nickel and sulfate co-modification was responsible for the broadened temperature window and improved the selectivity to N2 in NH3-SCR deNOx. The introduction of nickel to CeO2-ZrO2 solid solutions resulted in more Ce3+ on surface of catalyst, leading to an in... 相似文献
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针对网络安全态势预测,为了提高预测精度和预测算法的收敛速度,采用一种改进的粒子群算法(PSO)来优化径向基函数(RBF)神经网络.首先,PSO的惯性权重因子按一条开口向左的抛物线递减,在保证全局寻优的同时又增强了局部搜索能力;其次,通过权重因子的调节自动寻优,并将搜寻到的全局最优值解码成RBF的网络参数;最后,通过优化的RBF网络进行网络安全态势预测.仿真实验表明,改进后的算法能较准确地预测网络安全态势.与BP算法和RBF算法相比,本文算法在预测精度上有所提高,同时收敛速度加快,能达到更好的预测效果. 相似文献
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摩阻系数是管道仿真软件水力计算的重要参数,为了提高模拟准确度,研究优化设置软件中的摩阻计算公式和参数很有意义。编程计算了Weymouth、Pan(A)、Pan(B)、AGA、Colebrook、Nikuradse公式在不同相对粗糙度和雷诺数下的摩阻系数,和Moody标准图谱比较精度后获得了各公式的适用范围,发现Colebrook公式的适用范围和精度最优,AGA公式次之,其他公式则适用于不同的范围。结合3条真实管道与现场实际工况,在模型仿真运行时动态调整绝对粗糙度,反算出实际值0.010、0.015和0.013mm。故绝对粗糙度推荐值为0.010~0.015mm。 相似文献
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通过对房屋渗漏产生的根源进行分析,结合自身的工程经验,介绍了建筑易出现渗漏的部位并提出相应的预防措施,从而确保建筑的施工质量,为住户的居住舒适度和生命财产安全负责,为以后相应的施工项目提供一定的参考。 相似文献