微波用电介质材料的动向

一、序言在微波频段中,电介质被用来作为各种装置的结构元件,这些方面的整个进展情况已在文献[1]中作了叙述。本文重点介绍进展显著的微波陶瓷材料,并把希望这些材料从何种形态、何种性能来加以利用作为主要问题,综观一下最近的技术动向。     

八氟环丁烷等离子体干法腐蚀特性

等离子体干法腐蚀是近年来在半导体集成电路制造工艺中迅速发展起来的一种新技术,用来代替湿法腐蚀对制造集成电路的各种材料进行图形刻蚀。由于这种方法具有腐蚀性能好、设备简单、操作方便、宜于大批量和自动化生产等优点,因此在生产上已广泛采用。用等离子体腐蚀方法刻蚀单晶硅、多晶硅、氮化硅、二氧化硅等材料所使用的腐蚀剂,国内通常采用液态氟化物如氟油加氧或氟醚油。原则上讲只要含有氟的成份的各种氟化合物大体上都可以进行腐蚀,但从重复性、稳定性以及腐蚀速度来看气态源要比液态源更为优越,特别是使用液态氟油,含氧比例较难控制,随源的温度高低、流量大小而变化,影响腐蚀速率。因     

数控机床十字滑台实训设备的研究与改进

数控机床机械部件装调课是数控设备应用与维护专业的一门重要的专业核心课程.本文依据高技能人才培养目标,为解决实训设备不足的问题,满足人才培养的需要,结合企业实际需求,开发出一套实训用数控机床十字滑台模拟设备,解决了教学和实践过程中的装配难题.     

水下炸礁工程施工技术

我局从1985年以来,在大连、丹东等地进行了水下炸礁工程(即水下的岩石爆破)的施工,共施工炸礁爆破孔533个计3470m,炸方量达74000m~3.施工     

经济型数控车床的维修

改装C6140等车床的MCS—51单片机控制系统的主机芯片为8031,晶振频率为11.05962MHz,外设EPROM用两片2764,RAM电路中用一片6264,扩展口I/O用一片8155连接显示屏、键盘。用一片8255控制步进电机的驱动功率放大器,收信口接受光电脉冲发生器的输入信号,发信口控制刀架运转定位。输入电压为220V;功放电源电压为     

一种新型的微波集成平衡式上变频器

本文分析了"传统"的微波集成平衡式上变频器存在的弊端,介绍了一种新型的微波集成平衡式上变频器,指出了这种新型上变频器的优越性和应用前景.     

激光-CCD微位移传感器的研究

利用激光进行微小位移测量的激光-CCD微位移传感器是近几年发展起来的一种新技术.它具有灵敏度高、速度快、非接触测量,并与被测材料性质无关的优点.一、基本原理基本原理如图1所示,激光光源通过狭缝S沿     

低碳Cr-Mo系深冲双相钢组织与织构演变

通过组织观察以及TEM与XRD技术研究了低碳Cr-Mo系深冲双相钢组织与织构演变规律.结果表明:奥氏体未再结晶区终轧有利于形成{112}〈111〉织构,冷轧过程中{001}〈110〉,{112}〈110〉与{223}〈110〉织构稳定增加,退火过程中形成有利于深冲性能的〈111〉//ND以及{554}〈225〉与｛332}〈113〉织构;820℃与860℃临界区退火后γ纤维织构密度差异较小,但是高温退火增大{111}〈110〉与{111}〈112〉织构的取向密度差值,归因于贝氏体中的固溶碳以及贝氏体相变时的变体选择;高温卷取能诱发热轧板中Mo基碳化物粒子析出,并在退火保温过程中回溶,既能发展再