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首次采用离子注入工艺研究金属电极和p-GaN的欧姆接触特性.Zn为Ⅱ族元素,可以提高p-GaN表面的栽流子浓度,对p-GaN/Ni/Au(5/10nm)界面处进行Zn+注入.经Zn+注入后的样品在空气氛围中快速热退火处理5min,以减少离子注入带来的晶格损伤.研究发现Zn+注入改善了p-GaN/Ni/Au的欧姆接触特性,接触电阻率ρc从10-1Ω·cm2数量级降低到10-3Ω·cm2数量级.研究了不同Zn+注入剂量(5×1015、1×1016、5×1016cm-2)对接触电阻率的影响,在注入剂量为1×1016cm-2、300℃下退火得到最优的接触电阻率为1.45×10-3Ω·cm2.用扫描电子显微镜观察了离子注入前后的表面形貌变化,探讨了接触电阻率改变的内在机制. 相似文献
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随着超大规模集成电路设计线宽向纳米尺寸过渡,对半导体硅材料的性能和参数提出了更加严格的要求。本文阐述了绝缘体上硅(SOI)和锗硅(SiGe)等主要硅基半导体材料的研究进展,讨论了这些材料应用于纳米集成电路和微电子、光电子器件的经济技术前景。 相似文献
55.
阐述了在我国加入WTO后,贵州化工在知识产权保护方面存在的问题,提出了要开展专利战略研究,就要建立现代化信息体系的结论。 相似文献
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58.
东农310为本土培育的适用于全粉加工的马铃薯品种,该研究以引进生产全粉马铃薯品种大西洋为对照,从营养物质/质构/挥发性风味物质/感官评价分析了东农310马铃薯雪花粉在土豆泥中的应用。研究表明东农310雪花粉的干物质、蛋白和淀粉含量较低。矿物质元素中钙含量低于大西洋,但磷、铁、镁、钾含量都高于大西洋,吸水性略低大西洋雪花粉。东农310雪花粉颜色外观与大西洋相比,白度基本一致,黄绿色较深。添加相同比例雪花粉时大西洋质地和粘聚性更接近于市售土豆泥粉所制作土豆泥,但东农310土豆泥质地更软且粘聚度低,感官评价更适口。GC-MS香气成分检测,东农310醛类物质含量明显高且气味阈值低,是土豆泥的关键性香气物质。综合分析认为,东农310雪花粉制作的土豆泥营养成分丰富、整体风味浓郁,且质地软,略微提高其比例则可接近市售土豆泥质地,适用于加工为土豆泥。 相似文献
59.
工程竣工阶段的工程造价管理是工程造价管理的重要组成部分,本文从五个环节阐述如何审核竣工结算,以有效控制竣工阶段的工程造价。 相似文献
60.
“给我一个支点,我能撬起地球”这句名言已更多地被人们理解为定位与成功的关系,事实也的确如此,成功首先来自于对企业的定位,这里面最关键的应该是企业核心竞争力和核心产品的定位,或者简单地说就是你要干什么?你能干什么?你是干什么的? 相似文献