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71.
利用脉冲激光法制备了ZnO:Al透明导电膜,通过对膜进行霍尔系数测量及SEM、XRD测试分析,详细研究了靶材中的化学配比(掺杂比)对膜的透射比和电阻率的影响。结果表明:掺杂比、氧分压强曩响着膜的电学、光学性能和膜的结晶状况。从电学分析看出。掺杂比从0.75%增至1.5R过程中膜的载汉子浓度、透射比(在波长大于500nm的范围)和光隙能相应增大,在氧分压强为0Pa、掺杂比为1.5%左右时沉积的膜,其  相似文献   
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