半导体设备真空与检漏

基于实际应用,介绍了半导体设备真空结构和真空室常用部件,讲述了He质谱检漏仪的使用方法.总结了真空检漏的经验,阐述了微漏难检的现状.分析了磁控溅射台和ICP真空故障,采用静压检漏法和He质谱检漏仪检漏法,给出了零部件微漏导致这些设备抽不上高真空的结论.指出今后的发展方向是真空部件小型化,以及根据设备特点来提高真空部件的可靠性.结果表明,先排除干扰因素,再细心检漏,可大大提高检漏效率,使设备尽快恢复正常.     

BaCO3基低温共烧陶瓷基板工艺及性能分析

对用于封装的BaCO3基低温共烧陶瓷基板LTCC材料进行了研究,包括组分配制以及陶瓷制备工艺研究。对烧结后陶瓷的部分热性能以及力学性能进行了测试。结果表明:BaCO3基低温共烧陶瓷较为致密的密度在3.8～4.2g/cm3,在900℃烧结的陶瓷机械形变较小。     

COPART:一种面向约束条件的自适应软硬件划分算法

本文介绍一种将自适应算法、遗传算法和列表调度算法结合起来应用于软硬件划分问题的算法COPARTART，并提出了一种基于约束条件的开销系数自适应调整方法，该方法所获得的划分结果能够良好体现设计目标。     

炮兵弹药动态消耗规律

应用系统动力学方法建立了基于兰切斯特平方律方程的弹药消耗SD模型,为了宏观认识炮兵弹药消耗规律,选用不同策略对模型参数进行了调整,并在Vensim平台上进行了仿真实验,得出了弹药消耗随兵力、损耗系数变化的关系和规律。实践证明,该方法研究弹药消耗规律,实用性强、可行性好,能够为指挥员科学决策提供有力的方法支撑。     

实时远程控制的多机灭火协同作业关键技术

为应对生产和生活中出现的各种突发火情,提出通过利用红外探测捕捉火源特征并联动多台自动控制的消防器械进行协同灭火的技术,通过来自于监控机位的红外传感器获取火源位置和火势信息,并结合物联网上传到控制终端调动相应的智能灭火器械进行协同作业。在无人值守的情况下,通过远程控制手段实时监控环境信息,实现低程度火情的早期扑灭,对于提升消防安全,保障生产生活安全有十分重要的实用意义。     

硅微传声器的电声测试与灵敏度分析

根据所研制的电容式硅微传声器理想模式下的工作原理,建立了分析声一电模型,从理论上分析了器件的机械性能、灵敏度以及频响特性,并对不同结构参数的电容式硅微传声器进行性能测试,得出了系统设计的原则,要想得到高灵敏度的微传声器器件,在满足工艺可实现性的条件下,必须考虑尽可能小的空气隙厚度,以及具有较小内应力的声学振膜。     

基于三维有限元模型的微测辐射热计TCR及电学性能研究

微测辐射热计结构的电阻温度系数(TCR)及其电阻值对非致冷红外焦平面探测器的性能有极大影响.基于精确的微测辐射热计三雏模型,采用热电偶合有限元方法,分析了其电学特性,针对所建立模型,加载0.5～10 μA的直流偏置电流,得到各偏置下的温度及电势相应特性,并由此获取了不同温度下结构的电阻值,进而推导出一定温度内整个模型的TCR,从而为后端读出电路的设计提供参考.最后对实际制备的器件进行测试,验证了该方法的可靠性.     

基于拉曼散射原理的分布式光纤测温系统研究

在研究拉曼散射原理及其应用技术的基础上,开发了一种分布式结构的光纤测温系统。通过对光纤的拉曼散射光谱信息进行解调处理,实现了全光纤的分布式温度检测。系统达到的温度分辨率为0.3℃,空间分辨率为3m,最大测量距离为6 000m。相关的实验室和野外试验结果表明,该系统的主要性能指标能够满足实际工程的使用要求。     

基于SDN和NFV技术的新型电力CDN

电力CDN在智能电网发展及电力信息网应用扩展过程中扮演着网络加速、流量负载、安全防护的重要角色,同时,业务需求对其灵活布置也提出了更高的要求。此外,电力CDN加速节点的扩容面临着运维复杂、资源利用率低的问题。传统的电力CDN架构亟待改革,而能够支撑电力CDN改革需求的是SDN和NFV技术。SDN技术将业务控制从网络数据和传送中抽取出来,更有利于多种业务的快速扩展以及对CDN节点的集中管控。而NFV能基于业务发展对CDN节点进行扩容和资源调度,大大减少资本支出、运营成本、空间和功耗。