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1.
2.
1μm宽硅深槽刻蚀技术 总被引:1,自引:1,他引:0
介绍了硅深槽刻蚀的基本原理和影响刻蚀效果的几个主要工艺因素。提出了一种实现1μm宽的硅深槽刻蚀工艺途径;并给出了1μm宽、8μm深、侧壁及底部光洁的硅深槽刻蚀工艺条件。 相似文献
3.
本文从ASIC的基本特点出发,阐述了建立ASIC标准加工线(Foundry)的重要性;国内集成电路产业已经具备建立Foundry的基础,建立有中国特色的Foundry是可以有所作为的。文章介绍了作者在建立军用Foundry方面的探索和初步成果。 相似文献
4.
5.
可靠定位是机器人完成导航和路径规划的前提,机器人通过多个超宽带(ultra-wideband, UWB)基站的测距信息实现定
位,但基站数量不足时定位精度受限。 针对这一问题,提出融合超宽带距离和方位的移动机器人定位方法。 根据方位标准差区
分信号来自基站前方(视场)或背后(非视场),消除方位的前后奇异性。 在此基础上,利用 UWB 距离和方位测量值构建约束函
数,通过图优化算法融合里程计和 UWB 测量数据实现全局位姿优化。 实验结果表明,该方法在 13 m×6 m 的室内环境中,移动
机器人无规则运动能够达到 0. 093 m 的定位精度,比传统的基于测距 UWB 和里程计融合方法定位性能提升了 46%,且具有较
强的鲁棒性。 相似文献
6.
探讨了DCS(DistributedControlSystem)目前存在的供货商多、系统复杂、价格昂贵、工程周期长等特点 ,以及如何顺利实施DCS项目的计划 相似文献
7.
研究了添加青铜粉对316L烧结不锈钢的密度、硬度和微观组织的影响。结果表明:添加青铜粉末提高了316L不锈钢的生坯密度。烧结样品的密度和硬度均随青铜粉体积分数的增大而提高,烧结温度升高也有利于316L烧结不锈钢密度和硬度的增大,最佳烧结温度为1200℃左右。当青铜粉的体积分数为30%、烧结温度为1200℃时,316不锈钢的最大相对密度和硬度分别为95.1%和HRB83。添加青铜粉引起的液相烧结使不锈钢颗粒球形化趋势明显,颗粒表面平直化。 相似文献
8.
介绍了电气设备接地的必要性,并以大南变和红果子变的具体检测实例分析了接地装置腐蚀的原因.针对多种影响因素,提出了对接地网、接地引下线及电缆沟内的接地带相应的防腐措施. 相似文献
9.
采用高温溶剂合成法制备了稀释磁性半导体(DMS)Pb0.954Mn0.046Se纳米晶体(NCs).使用TEM和XANES测试手段对此DMS纳米晶体进行了表征.测试结果表明,纳米晶体尺寸分布较均匀,而且掺杂在PbSe中的Mn离子仍是+2价的,同时也证实了Mn离子的掺杂导致了DMSNCs的晶格发生了少许的改变. 相似文献
10.