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61.
1μm宽硅深槽刻蚀技术 总被引:1,自引:1,他引:0
介绍了硅深槽刻蚀的基本原理和影响刻蚀效果的几个主要工艺因素。提出了一种实现1μm宽的硅深槽刻蚀工艺途径;并给出了1μm宽、8μm深、侧壁及底部光洁的硅深槽刻蚀工艺条件。 相似文献
62.
本文将奇异摄动系统看成是存在参数扰动的广义系统的一种特殊形式,然后利用广义系统特征结构配置来使广义系统的有限闭环极点尽可能接近奇异摄动系统的闭环主导极点,从而达到近似配置奇异摄动系统主导极点的目的。本文提供的算法是数值稳定的。 相似文献
63.
稀疏效应下一类捕食者与食饵系统极限环 总被引:1,自引:0,他引:1
蔡淑云 《吉林化工学院学报》2002,19(4):95-97
研讨了稀疏效应下一类捕食者与食饵系统 :x· =x(x(r-x) -y) ,y· =b0 y(x -m) .讨论了该系统平衡点的性态 ,并证明了该系统极限环的存在性和唯一性 . 相似文献
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65.
66.
波分复用系统中的交错复用器(Interleaver)技术 总被引:4,自引:1,他引:3
鉴于波分复用技术已成为光纤通信的发展方向,介绍几种新型的交错复用器的原理、结构等情况,对各种器件进行了比较。 相似文献
67.
68.
蒸发式空冷器的运行实践 总被引:1,自引:0,他引:1
通过了解蒸发式空冷器的工作原理和结构,在运行实践过程中,对组成设备出现的问题提出相应的解决方案,并对部分组成设备提出改进的建议,以方便检修和维护,并提出了在冬季长时间高炉休风情况下保证水温不下降过低的解决方案。 相似文献
69.
70.
安全预警和决策支持(EWSC)系统作为未来控制中心自动化系统的重要功能,一方面需要对能量管理系统(EMS)成熟功能进行封装,另一方面需要适应自动化系统功能演变的需要。提出了一种基于多代理系统(MAS)的软件开发范式,用于开发EWSC系统的软件构架。该系统具有一个松散、开放的可插入式结构。其中核心框架是负责系统通信和任务调度的协调层,是相对固定的;其余部分为独立模块,由一系列相对独立的决策分析和人机表达智能体组成,可以独立开发,方便地嵌入系统。在该框架下系统各个模块层次分明,具有很强的解耦性,并且可以实现把历史遗留系统集成到新的环境中。基于文中所提出的软件构架的在线EWSC系统已在某省级电网投运。 相似文献