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Yang C.W. Fang Y.K. Lin C.S. Tsair Y.S. Chen S.M. Wang W.D. Wang M.F. Cheng J.Y. Chen C.H. Yao L.G. Chen S.C. Liang M.S. 《Electronics letters》2003,39(21):1499-1501
A novel technique to form high-K dielectric of HfSiON by doping base oxide with Hf and nitridation with NH/sub 3/, sequentially, is proposed. The HfSiON gate dielectric demonstrates excellent device performances such as only 10% degradation of saturation drain current and almost 45 times of magnitude reduction in gate leakage compared with conventional SiO/sub 2/ gate at the approximately same equivalent oxide thickness. Additionally, negligible flatband voltage shift is achieved with this technique. Time-dependent dielectric breakdown tests indicate that the lifetime of HfSiON is longer than 10 years at V/sub dd/=2 V. 相似文献
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甲烷无氧芳构化研究进展及其工业应用前景 总被引:5,自引:0,他引:5
综述了最近20多年来甲烷无氧芳构化催化剂的制备、积炭失活和再生方面的研究进展,特别分析了催化剂再生过程的工程化问题及反应器型式;还根据甲烷芳构化技术产业化的需要,分析了甲烷芳构化技术的发展趋势。 相似文献
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研究了红外频段非线性s偏振表面波在反铁磁晶体和电介质交界面上的频率特性,求出了非线性色散方程,揭示了非线性s偏振表面波存在一个临界频率,低于这个频率,非线性s偏振表面波的频率范围,发现功率不再是决定导波频率范围的唯一因素,两种材料的介电常数比在这里起了至关重要的作用。 相似文献
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本文概述INMARSAT 21世纪工程的规划及为实现这一规划,INMARSAT组织在本世纪末正在进行和即将进行的一系列卫星通信技术工作。着重阐述INMARSAT 21世纪工程的业务性能以及对三种卫星布局方案进行抉择的新动向。 相似文献
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G~2-连续的保凸插值三次Bezier样条曲线 总被引:1,自引:0,他引:1
方逵 《计算机辅助设计与图形学学报》1994,(4)
本文引入曲率参数,描述了分段三次Bezier插值样条曲线(开的和闭的)。这些插值曲线是G~2-连续的和保凸的,并且这些曲线可以作局部修改。最后,用本文的方法解决了一个实际问题。 相似文献