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In this work, a novel atmospheric pressure plasma-assisted excimer laser annealing method for increasing the generation efficiency of poly-crystalline silicon from amorphous silicon layers is presented. Here, both the plasma and the laser propagate coaxially in order to generate energetic synergies. The influence of different process gases and plasma discharge modes as well as the working distance were investigated. Depending on the particularly applied plasma, the crystalline area was increased by a factor of approx. 1.1 to 1.9, where the highest efficiency was observed when introducing an argon plasma beam to the annealing process.  相似文献   
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For the production of high-quality goods in industrial furnaces using minimal expenditure of energy, optimization of the process parameters is required. One tool for improving the processes economically is the simulation of the furnaces by using Computational Fluid Dynamics (CFD). The pre-heating process of a steel strip in a section of an annealing furnace for surface treatment in a hot-dip galvanizing process was simulated using the commercial CFD software Ansys Fluent 15.0. For combustion, the Equilibrium model is used, turbulence is modeled by the realizable-k-ε model, and radiation is taken into account by using the Discrete Ordinate Method (DOM).  相似文献   
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