1μm宽硅深槽刻蚀技术

介绍了硅深槽刻蚀的基本原理和影响刻蚀效果的几个主要工艺因素。提出了一种实现１μｍ宽的硅深槽刻蚀工艺途径；并给出了１μｍ宽、８μｍ深、侧壁及底部光洁的硅深槽刻蚀工艺条件。     

全耗尽CMOS／SOI技术的研究进展

ＳＯＩ材料技术的成熟，为功耗低，抗干扰能力强，集成度高，速度快的ＣＭＯＳ／ＳＯＩ器件的研制提供了条件，分析比较了ＣＭＯＳ／ＳＯＩ器件与体硅器件的差异，介绍了国外薄膜全耗尽ＳＯＩ技术的发展和北京大学微电子所的研究成果。     

国际微电子专用关键设备的现状和发展趋势（考察报告）

讲述了参观Ｓｅｍｉｃｏｎ／ｗｅｓｔ９４′展览会及考察美国和西德的５个公司、１所大学所了解到的投影光刻技术、电子束曝光技术、透镜面形测试技术的发展。     

CETRAN系统中的英语词汇结构与功能

本文介绍了汉英机器翻译系统中从中间媒介语言生成英语的生成系统的词汇结构和功能，描述了生成系统各个层次之间的转换原理。为了说明清楚，在叙述中注意了列举从中间媒介中间媒介语言到目标语句的生成实例。     

具有Hammerstein形式的非线性系统广义预测控制

本文提出了具有Ｈａｍｍｅｒｓｔｅｉｎ形式的非线性系统广义预测控制方法，分析了当控制水平等于１时闭环系统的稳定性，同时还提出了使用线性估计器的非线性自适应广义预测控制算法。仿真结果表明了算法的有效性。     

Pore size control of porous silica by sol-gel process

Porous silica glass was prepared by sol-gel process from tetraethoxysilane (TEOS). The effects of solvents (water, ethanol), drying condition, heat treatment temperature on specific surface area and pore size distribution of porous silica were investigated. Gelation process accelerates with an increase of H₂O content, while retards with the increase of ethanol amount. Structure changes during heat treatment were studied by means of DTA, XRD. TEM micrographs show that the gel particles shrink after heated at 500°C, thus the average pore size decreases.     

非对称复合材料层板在面内载荷作用下的非线性横向变形或屈曲

本文利用广义富里叶级数法对非对称复合材料层板在面内载荷作用下的非线性横向变形或屈曲问题进行了分析。文中主要研究了四边简支边界条件下,非对称层板的铺层方式和面内载荷形式对横向变形的影响。通过求解非线性控制方程得到了层板的载荷—挠度曲线或特殊情况下的后屈曲平衡曲线。计算结果表明,对于大多数非对称复合材料层板在面内载荷作用下所产生的是横向变形问题,而不是分叉屈曲问题。     

Microstructure of Pd_(77.5)Au_6Si_(16.5) Alloy Droplet Solidified in a Drop Tube Process

The microstructure development of Pd77.5Au6Si16.5 alloy droplet solidified in a drop tube process was studied. It was found that two distinct microstructures, i.e. (Pd,Au)3Si primary phase and Pd+(Pd,Au)3Si eutectic can be obtained when the droplet diameter is within the range between 2.3~0.4 mm. The morpologies of the (Pd,Au)3Si developed from dendrite trunk-like with single branching only into dendrite cluster-like with ternary branching with the decrease of the droplet diameter. When the droplet diameter is about 0.25 mm, the primary phase (Pd,Au)3Si almost disappears and the microstructure mainly shows Pd+(Pd,Au)3Si eutectic. The morphology of the eutectic transforms from fiber-like to plate-like with the decrease of the droplet diameter in the range between 2.3-0.25 mm. When the droplet diameter is about 0.19 mm, the microstructure is only the single phase of Pd solid solution     

溶胶－凝胶法制备Pb（Zr，Ti）O_3玻璃陶瓷过程中的结构变化

本文介绍溶胶－凝胶法制备均匀ＰｂＺｒ－Ｔｉ－Ｂ－Ｓｉ凝胶玻璃，并通过适当热处理在凝胶玻璃中原位生长Ｐｂ（Ｚｒ；Ｔｉ）Ｏ３微晶的新工艺·利用ＩＲ谱考察了凝胶玻璃中的元素键合结构随温度的变化．结合热分析和ＸＲＤ；ＳＥＭ技术，研究了Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３微晶在凝胶玻璃中的生长过程及该材料的结构特点．发现Ｐｂ２（Ｚｒ，Ｔｉ）２Ｏ６＋ｘ立方焦绿石介稳过渡相的纳米微晶首先出现于该体系中，并在更高的温度下先后完全转变成三方和四方Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３钙钛矿相．电子显微观察结果表明，该工艺制备的Ｐｈ（Ｚｒ；Ｔｉ）Ｏ３玻璃陶瓷具有均匀的细晶结构．     

CAD^2B—一个计算机辅助数据库设计系统

本文介绍了一个用Ｔｕｒｂｏ Ｃ语言在ＡＳＴ－２８６机器上实现的计算机辅助数据库设计系统ＣＡＤ＾２Ｂ。该系统提供了人机交互的环境，供设计者进行概念模型设计，并自动完成从概念模型逻辑模型的映射，创建满足规范化要求的关系表。该系统采用的概念模型是引入了事件和时间的扩展了的实体关系模型。该模型既能充分反映应用环境的静态和动态语义，又是向关系模式转化的基础。