快速退火气氛对300mm硅片内洁净区和氧沉淀形成的影响

300mm硅片中厚度合适的洁净区和高密度氧沉淀,有利于对器件有源区金属沾污的吸除,改善栅氧化物的完整性.文中使用Ar,N2/NHa混合气作为快速退火(RTA)气氛,研究RTA气氛对洁净区、氧沉淀形成的影响.研究发现N2/NHs混合气氛处理的硅片表层洁净区明显薄于Ar气氛处理的硅片,氧沉淀密度明显高于Ar气氛处理后的硅片.同时发现在两种气氛下,延长恒温时间都可以降低洁净区厚度,增加氧沉淀密度.基于空位增强氧沉淀成核和氮化空位注入的基本原理,就RTA气氛和恒温时间对洁净区和氧沉淀分布的影响进行了讨论.     

贮存环境对制导装备性能及寿命的影响机理分析

对制导装备贮存过程中贮存环境对其性能及寿命的影响机理进行了分析,通过分析得到影响制导装备性能的主要环境因素包括温度、湿度、通-断电。其中,温度的主要影响机理是引起力学性能、电器性能和化学反应速度的变化,湿度的影响机理是水膜、凝露的形成和产品的吸湿,通-断电的影响机理是元器件参数漂移。通过分析不同环境影响制导装备性能及寿命的影响机理,对采取有针对性的维护预防措施并提高制导装备的环境适应能力具有重要的指导意义,同时对贮存过程中的环境控制具有重要的实际意义,对于提高装备的可靠性和保障性具有重要的战略意义。     

高温氩退火对提高Si片质量的研究

首先研究了氩退火对大直径直拉Si单晶表面的空洞型微缺陷的影响。样品在1 200℃下进行退火,退火前后样品上的晶体原生粒子缺陷(COP)利用激光计数器SP1来观察。试验表明Si片经过1 h退火后,表面的COP全部被消除;另外,对样品退火前后的几何参数和金属含量也做了测试,发现样品的几何参数和金属含量都没有明显的变化;最后研究了高温退火对MOS电容栅氧化层性能的影响,结果表明退火前后的样品分别制备为MOS电容,利用斜坡电压法来测试其击穿电压。实验发现,Si片经过1 200℃热处理后,MOS电容的击穿电压有了明显的提高,这表明高温退火工艺能够有效提高栅氧化层的性能。     

关于单绕组双速锥形转子制动异步电动机的设计

我们在设计单绕组双速锥形转子异步电动机时,碰到一些问题需作特别处理,本文拟对调速方案、气隙磁密比的正确估计和低速转矩计算等方面提出几点看法,以供参考。一、调速方案的选择一般用槽磁势矢量法或对称轴线法,可得到很多变速方案,但最佳方案的确定应按下列原则为依据:1.基本极和变后极的谐波含量要低,即谐波与主波磁势幅值比要小。2.基本极和变后极的分布系数较高,且二者比较接近。     

系统仿真技术在控制系统中的应用

系统仿真技术是一种以对实际系统建立正确的数学模型为基础，以计算机为工具的对实际系统进行模拟的技术。计算机技术的高速发展，使系统仿真技术在各个领域中都得到了广泛的应用。以化工及工业锅炉自动控制系统中水箱系统的液位控制问题为例，阐述了系统仿真技术在自动控制领域中的应用。     

海水流量优化在ORV运行中的实践

LNG接收站需用大量海水作为气化热源,将过冷的LNG转化为NG,合理使用海水量不仅可使设备平稳运行,延长设备使用寿命,还可节约电耗,减少海水排放,具有良好的经济效益和社会效益。     

振动应力筛选

本文介绍了振动应力筛选技术,讨论了建立振动应力筛选的益处,应考虑的主要问题以及应牢记的关键因素。     

2000-2019年新疆水-能源-粮食系统耦合协调发展研究

水、能源和粮食是区域可持续发展的关键要素。以新疆维吾尔自治区为研究区,构建水-能源-粮食(W-E-F)系统综合评价指标体系,利用耦合协调度模型和灰色GM(1,1)模型,分析新疆2000-2019年W-E-F系统耦合协调发展水平,并对2020-2031年的耦合协调度进行预测。结果表明：2000-2019年新疆W-E-F系统的综合评价指数由0.39增大至0.61,整体上呈现上升趋势;耦合协调度从0.59增大至0.77,3个子系统之间存在着密切的联系,目前整体表现为中级协调发展水平,并预测在2025年将过渡为高级协调发展阶段。水资源子系统仍是制约W-E-F系统协调发展的关键,农业用水占比过大,导致新疆总体上结构型缺水严重。未来应积极调整用水结构,提高水资源利用效率,优化粮食消费结构,以提升系统内部的协调性。     

一个脉冲发放型人工神经元

本文首先总结了生物神经元的一些基本特性,对调节联接的霍伯(Hebb)规则提出了新的见解,得出生物神经元的总和过程是间歇式的结论,通过对支配神经元活动的Hodgkin-Huxley方程进行合理简化得到一个具有类似于生物神经元动作方式的人工神经元;给出了这一模型的电路实现和解析解 ;最后,研究了该模型组成的多层网络实现异或分类问题.该模型具有生物神经元的主要特性,如总和效应、潜伏期和不应期等,并且兼顾到在工程上其容易由硬件、软件实现等问题.     

油气管道环焊缝搅拌摩擦焊机的研制

为了保障油气管道对接环焊缝的焊接质量,提高焊接效率,开发设计了专门用于油气管道对接环焊缝的搅拌摩擦焊机。介绍了搅拌摩擦焊接（friction stir welding,FSW）的焊接机理以及油气管道对接环焊缝搅拌摩擦焊机的主要构成及其工作参数。该焊机的机械系统主要由支撑系统、夹持系统、环形运动驱动系统、搅拌头系统与退出孔消除系统等组成,焊机最大扭矩达186 N·m,可以在较宽的焊接参数范围内完成多种材质、不同直径管道的搅拌摩擦焊接。